[实用新型]短波红外多通道集成光谱组件

权利要求书

1.一种短波红外多通道集成光谱组件，包括高长宽比InGaAs线列光敏芯 片(1)、读出电路(2)、过渡电极板(3)、测温电阻(4)、半导体致冷器(5)、 多通道数字式分光器(6)、窗口(7)、金属管壳(8)与盖板(9)，其特征在 于：

所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)与读出电路(2)通过倒焊互 连，多通道数字式分光器(6)通过边缘金属化焊接光谱通道以外的区域，直 接与高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)耦合，集成到短波红外多通道集成光 谱组件中，密封在一个金属管壳(8)的内部，在微小区域内构成有多个光谱 通道的集成光谱组件。

2.根据权利要求1所述的一种短波红外多通道集成光谱组件，其特征在 于：所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)的光敏元为长方形结构，长宽 比为10:1或者20:1。

3.根据权利要求1所述的一种短波红外多通道集成光谱组件，其特征在 于：所述的多通道数字式分光器(6)为一个单片多通道短波红外滤光片，光 谱通道数为64、128或者256，各通道的光谱连续均匀分布或不连续分布，每 个通道的光谱带宽2nm～5nm，中心波长定位精度±1nm，透过率≥50％，单个 通道内的光谱噪声小于1％，通道间的串音小于1％，在分光通道以外的区域沉 积短波红外波段透过率小于0.1％的光学薄膜。