[实用新型]一种切割设备进料自动引导装置有效

专利信息
申请号: 201520979468.X 申请日: 2015-12-01
公开(公告)号: CN205291306U 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 冯建青 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00;B28D5/00
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 杨虹
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 设备 进料 自动 引导 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种切割设备进料自动引导装置。

背景技术

现有技术是使用纯金属钢板来引导材料进入设备内,纯金属钢板与材料之间存在较大的接触摩擦力,容易产生定位不准确。

发明内容

针对现有半导体制造技术中,尤其是晶圆切割过程中采用纯金属钢板引导材料进入到切割设备中,存在材料与引导定位块之间摩擦力大,对于引导和定位带来一定的不便,本实用新型提供一种切割设备进料自动引导装置,本实用新型采用以下技术方案:本实用新型包括特氟龙块2,所述特氟龙块2上表面上设置有至少两个倾斜的导入槽3,所述导入槽3内设置有干燥板。

优选的,所述导入槽3的倾斜角度为15-60°,所述所述导入槽3采用不锈钢材料。

优选的,所述特氟龙块2上设置有定位孔1。

本实用新型的有益效果:本装置中特氟龙块与材料之间接触摩擦小,使得材料能够顺利进入到切割设备中,精确定位。

附图说明

图1为本实用新型的主视图;

图2为图1所示的主视图的相对面的主视图;

图中,1、定位孔;2、特氟龙块;3、导入槽。

具体实施方式

由图1、图2所示可知,本实用新型包括特氟龙块2,所述特氟龙块2上表面上设置有至少两个倾斜的导入槽3,所述导入槽3内设置有干燥板。

优选的,所述导入槽3的倾斜角度为15-60°,所述所述导入槽3采用不锈钢材料。

优选的,所述特氟龙块2上设置有定位孔1。

上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效,而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本专利申请的权利要求所涵盖。

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