[实用新型]一种切割设备进料自动引导装置有效
申请号: | 201520979468.X | 申请日: | 2015-12-01 |
公开(公告)号: | CN205291306U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 冯建青 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 杨虹 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 设备 进料 自动 引导 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种切割设备进料自动引导装置。
背景技术
现有技术是使用纯金属钢板来引导材料进入设备内,纯金属钢板与材料之间存在较大的接触摩擦力,容易产生定位不准确。
发明内容
针对现有半导体制造技术中,尤其是晶圆切割过程中采用纯金属钢板引导材料进入到切割设备中,存在材料与引导定位块之间摩擦力大,对于引导和定位带来一定的不便,本实用新型提供一种切割设备进料自动引导装置,本实用新型采用以下技术方案:本实用新型包括特氟龙块2,所述特氟龙块2上表面上设置有至少两个倾斜的导入槽3,所述导入槽3内设置有干燥板。
优选的,所述导入槽3的倾斜角度为15-60°,所述所述导入槽3采用不锈钢材料。
优选的,所述特氟龙块2上设置有定位孔1。
本实用新型的有益效果:本装置中特氟龙块与材料之间接触摩擦小,使得材料能够顺利进入到切割设备中,精确定位。
附图说明
图1为本实用新型的主视图;
图2为图1所示的主视图的相对面的主视图;
图中,1、定位孔;2、特氟龙块;3、导入槽。
具体实施方式
由图1、图2所示可知,本实用新型包括特氟龙块2,所述特氟龙块2上表面上设置有至少两个倾斜的导入槽3,所述导入槽3内设置有干燥板。
优选的,所述导入槽3的倾斜角度为15-60°,所述所述导入槽3采用不锈钢材料。
优选的,所述特氟龙块2上设置有定位孔1。
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