[实用新型]一种多功能光刻去胶网勺

说明书

技术领域

本实用新型属于光刻技术领域，涉及光刻去胶工序，具体的涉及光刻去胶网勺。

背景技术

光刻胶不仅是光刻过程中用作从光刻掩膜板到晶圆片的图形转移媒介，还是用作刻蚀时不需刻蚀区域的保护膜。当刻蚀完成后，光刻胶已经不再有用，需要用剥离液将其彻底去除，即去胶。传统去胶工艺流程为：剥离液倒入烧杯加热→将基片放入烧杯去胶→摇晃烧杯使去胶充分→镊子夹起基片观察去胶效果→去胶完成。具体为：a）将去胶用的剥离液倒入1000mL烧杯中，放置在密封电炉上加热；b）待剥离液温度升至规定温度，将基片放入烧杯中加热；c）为使基片能够充分均匀去胶，需要将烧杯轻微摇晃，以提高去胶效果；d）随时用镊子夹起基片，观察去胶效果；e）如果光刻胶已去除干净，则去胶工序完成。

采用传统工艺存在以下问题：

A、剥离液加热温度不好控制：因为密封电炉一直在给烧杯加热，所以杯中剥离液温度不好控制，如果温度过高就需要及时将烧杯从密封电炉上拿下降温。所以一边去胶，一边还要时刻注意剥离液温度很容易出错，经常使剥离液温度失控，导致去胶效果不理想。而在烧杯中放置单独温度计，还需另外观察温度计度数，增加了操作难度系数。

B、被剥离基片一次最多只能两片：因为要随时夹起基片观察去胶效果，所以每次就不能放置太多基片，否则容易出现基片观察不及时，使基片过量去胶，导致产品的后续质量受到影响。

C、摇晃时易损伤基片和烧杯：在加热时，为了使基片能够快速、充分去胶，需要将烧杯轻微摇晃，虽然力量不是很大，但由于基片的材质很脆，所以极容易将基片边缘磕崩边、崩角，严重时会使基片磕裂，为以后的使用留下隐患；而且烧杯也是玻璃的，在不断与基片的撞击下，也很容易碎裂。

D、镊子夹基片易损伤基片：因为在加热过程当中，要随时用镊子将基片夹起来观察去胶效果，而镊子本身又是金属材质，极易出现将基片夹伤的情况，而且镊子操作起来有一定危险性，稍不注意，将基片跌落，基片便会摔碎，造成损失。

发明内容

本实用新型为解决现有技术问题，提供了一种可测温、可固定、同时能为多个基片去胶的多功能光刻去胶网勺。

本实用新型采用的技术方案为：一种多功能光刻去胶网勺，包括网勺头、勺柄，所述网勺头为方型，网勺头内设有一组隔网。

进一步地，所述勺柄上设有数显温度计，其中数显温度计的探头端位于网勺头处，数显温度计的显示装置设于勺柄上端。

进一步地，所述勺柄上设有夹子。

进一步地，所述勺柄顶端设有悬挂孔。

进一步地，所述网勺头材质为铜，勺柄材质为不锈钢。

进一步地，所述网勺头宽高为60*60mm，网勺高为20cm。

进一步地，所述隔网数量为5~8片。

本实用新型的有益效果为：使用本实用新型对光刻工艺中进行去胶操作，具有效率高、方便快捷、温度可控、便于观察、易放置等特点。

a、可同时去胶多个基片：本实用新型采用内部设有一组隔网的方型网勺头，形成的每个槽同基片形状一致，且比常规基片略大，因此每次可以放置多个基片，大大提高了工作效率。

b、温度可控：本实用新型带有数显温度计，可随时在操作当中观察剥离液的温度，时刻保证剥离液在最佳状态，保证了去胶效果。

c、可固定在烧杯上：本实用新型在勺柄上设有夹子，可借助夹子将本实用新型稳稳的固定在烧杯上，避免了基片与烧杯的碰撞；同时也能防止在用镊子夹取基片观察去胶效果时失手跌落基片的问题。

d、便于观察：采用本实用新型可直接观察基片的去胶效果，不必用镊子一片一片的夹起基片观察，有效防止出现镊子将基片边缘夹坏夹崩的现象，且观察去胶效果也更便捷。

e、易防止：本实用新型使用完毕、冲洗干净后，可悬挂，干净卫生。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

其中：1代表网勺头、2代表勺柄、3代表隔网、4代表数显温度计的显示装置、5代表夹子、6代表悬挂孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明

如图1所示，一种多功能光刻去胶网勺，包括方型网勺头1、勺柄2，网勺头1内设有一组隔网3。勺柄2上设有数显温度计和夹子5，其中温度计的探头端位于网勺头处，温度计的显示装置4设于勺柄2上端。勺柄2顶端设有悬挂孔6。

网勺头1材质为铜，勺柄2材质为不锈钢。网勺头1宽高为60*60mm，网勺高为20cm。隔网3数量为5片

具体实施时：将多个去胶基片放入网勺头1中，然后将网勺伸入含有剥离液的烧杯中；夹子5夹住烧杯壁，将网勺固定在烧杯上；摇晃烧杯，网勺跟着一起晃动，达到去胶效果；时时观察数显温度计的显示装置4上的度数，控制剥离液温度；观察去胶情况时，松开夹子5，上提网勺观察基片去胶情况；去胶完成后，将基片取出，及时冲洗网勺，借助悬挂孔6将网勺悬挂起来即可。