[实用新型]一种计量微量气体的装置

权利要求书

1.一种计量微量气体的装置，其特征在于：由气体收集单元、气体控制单 元、气体计量单元组成，气体收集单元负责整个装置中气体收集和排出，气体控 制单元负责进、出气相关开关以及电路的联调联控，气体计量单元负责收集到气 体的体积的计量，具体结构如下：

气体收集单元包括进气管、气体收集管进气管路、气体收集管排气管、气体 收集管、恒温水浴夹套、水、恒温水浴夹套温度控制器，其中气体收集管进气管 路与进气电磁阀出口管连接，气体收集管排气管与排气电磁阀进口管连接，气体 收集管排气管路端口连接精密气体压力表，气体收集管外壁由恒温水浴夹套包 裹，恒温水浴夹套地步安装温度控制器，控制恒温水浴温度；

气体控制单元包括进气电磁阀、排气电磁阀、进气电磁阀控制开关、排气电 磁阀控制开关与电源控制器，其中进气电磁阀进口管与进气管串联连接，排气电 磁阀出口管与出气管串联连接，进气电磁阀、出气电磁阀通过导线分别与进气电 磁阀控制开关、排气电磁阀排气控制开关连接，进气电磁阀控制开关、排气电磁 阀控制开关分别通过导线与电源控制器连接；

气体计量单元包括精密气体压力表、电子计数器与导线，精密气体压力表通 过导气管与气体收集管上端端口连接，精密气体压力通过导线与电源控制器连 接，电子计数器通过导线与电源控制器连接。

2.根据权利要求1所述的计量微量气体的装置，其特征在于：所述气体收 集管材质为高硼硅玻璃，内径2-5cm、壁厚6-10mm、高度10-20cm，气体收集管 的进气端口、排气端口的外径均为0.3cm。

3.根据权利要求1所述的计量微量气体的装置，其特征在于：所述进气管、 排气管、气体收集管进气管、气体收集管排气管材质均为防腐塑料管，内径均为 0.3cm。

4.根据权利要求1所述的计量微量气体的装置，其特征在于：所述精密气 体压力计为防腐材质。