[实用新型]滤光片真空蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种滤光片真空蒸镀设备。

背景技术

水冷装置在工、农业的各领域应用十分广泛，在人民生活中冷却设备也随 处可见，是不可缺少的工艺设备之一。尤其在工业中水冷装置的研究倍受重视， 在工业中其装置都会产生热量，而这些热量过大时都需要将这些热量进行排出 或者进行冷却而不会对这些装置造成影响，否则可能这些装置会出现损坏，导 致装置无法工作，同时也加大了成本，一般的装置都是采用放热装置将装置产 生的热量进行排出就能达到持续长久的工作，但对于滤光片真空蒸镀设备，该 设备需要连续的不间断的进行工作，其设备内电极棒产生的热量急需排出，而 采用一般的散热器不能达到长时间的工作，且也只能是相对减缓其热量的增大， 从根本上也不能快速的进行降温，从而导致工作效率不高。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结 构的滤光片真空蒸镀设备，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种滤光片真空蒸镀设备。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

滤光片真空蒸镀设备，包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟，所 述转位机构穿过安装板并挂设在安装板上，穿过安装板的所述转位机构的一端 与水冷盘机构驱动连接，所述安装板上设置有第一电极和第二电极，所述第一 电极和第二电极分设在转位机构的左右两侧，沿所述水冷盘机构的外圈和内圈 上分别插接有12根外电极和4根内电极，相邻的所述外电极之间呈30°布置， 且相邻的所述内电极呈90°布置，所述外电极与第一电极相配合布置，4根内 电极通过圆环相连通设置，且与第二电极相配合布置，所述第一电极和第二电 极均通过连接线与蒸发电极机构相连通，所述蒸发舟设置在水冷盘机构的正上 方，所述蒸发舟上设置有蒸发片，呈径向设置，所述蒸发片的一端与外电极相 连，所述蒸发片的另一端与内电极相连布置。

进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述水冷盘机构由真空水冷盘和 隔板组成，所述真空水冷盘的内腔通过隔板分隔为上腔层和下腔层，所述隔板 上开设有孔洞，使上腔层与下腔层相通布置，所述真空水冷盘的中轴线处开设 有进水口和出水口，进水口布置在下腔层上，出水口布置在隔板上。

再进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述转位机构包括旋转轴，所 述旋转轴的内腔中插接有出水管，所述出水管的一端与出水口相连，并与上腔 层相连通布置，所述出水管的另一端连通至出水管出水口，所述旋转轴上套装 有进水管，所述进水管的一端与进水口相连，并与下腔层相连通布置，所述进 水管的另一端连通至进水管进水口。

更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述第一电极和第二电极为相 同的结构布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述第一电极和第二电极都 包括气缸，所述气缸挂设在安装板的底端上，所述气缸的活塞杆穿过安装板布 置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰，所述固定法兰上从下往上依次固设 有下绝缘板、连接板、上绝缘板及触动块，所述下绝缘板与上绝缘板之间与连 接板的一端夹装布置，所述触动块的底端穿过上绝缘板与连接板相碰接布置， 所述连接板的另一端上与连接线相连。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述蒸发电极机构包括水冷 电极棒，所述水冷电极棒的一端穿过并挂设在安装板上，所述水冷电极棒的轴 心处开设有一圆孔，所述圆孔内安装有冷却进水管，所述冷却进水管的直径小 于圆孔的直径，所述水冷电极棒上还开设有一蒸发出水口，所述蒸发出水口与 圆孔相连通，所述水冷电极棒凸出安装板的一端与蒸发连接片的一端相连，所 述蒸发连接片的另一端与连接线的相连。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述连接线为铜编织带的连 接线，且呈舒张布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，插接在所述水冷盘机构的外 电极和内电极的上下两端都凸出于水冷盘机构的上端面和下端面布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，凸出于所述水冷盘机构的外 电极和内电极的下端处于同一平面布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述蒸发片呈长条形，其中 间部位呈半圆形与前后两段相连。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：