[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电极，尤其涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极。

背景技术

在工业中降低装置的自身温度研究倍受重视，在工业中其装置都会产生热 量，而这些热量过大时都需要将这些热量进行排出或者进行冷却而不会对这些 装置造成影响，否则可能这些装置会出现损坏，导致装置无法工作，同时也加 大了成本，一般的装置都是采用散热装置将装置产生的热量进行排出就能达到 持续长久的工作，但对于滤光片真空蒸镀设备，该设备需要连续的不间断的进 行工作，其设备内电极产生的热量急需排出，而采用一般的散热器不能达到长 时间的工作，而其结构也不允许在其外表上增加能散热用的装置，从而不能快 速的进行降温，导致工作效率不高。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结 构的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种用于滤光片真空蒸镀 设备用电极。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极，包括安装板，所述安装板的中轴线 的左右两侧设置有相同结构的电极，所述电极由工作电极和水冷电极组成，所 述工作电极通过连接线与水冷电极相连通；

所述工作电极包括气缸，所述气缸挂设在安装板的底端上，所述气缸的活 塞杆穿过安装板布置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰，所述固定法兰上 从下往上依次固设有下绝缘板、连接板、上绝缘板及触动块，所述下绝缘板与 上绝缘板之间与连接板的一端夹装布置，所述触动块的底端穿过上绝缘板与连 接板相碰接布置，所述连接板的另一端上与连接线的一端相连；

所述水冷电极包括水冷电极棒，所述水冷电极棒的一端穿过并挂设在安装 板上，所述水冷电极棒的轴心处开设有一圆孔，所述圆孔内安装有进水管，所 述进水管的直径小于圆孔的直径，所述水冷电极棒上还开设有一出水口，所述 出水口与圆孔相连通，所述水冷电极棒凸出安装板的一端与连接片的一端相连， 所述连接片的另一端与连接线的另一端相连。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述连接线为铜编织 带的连接线。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述下绝缘板、连接 板、上绝缘板之间通过固定件相固定，且在固定件上套装有绝缘垫圈。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述连接线通过绝缘 压片固设在连接片上。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述水冷电极棒与安 装板之间设置有绝缘套。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述连接线在连接板 与连接片之间呈舒张布置。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，在安装板下端的所述 水冷电极棒上套装有连接管，所述连接管上安装有进水机，所述进水机与进水 管相连。

进一步的，所述的用于滤光片真空蒸镀设备用电极，所述连接板和连接片 的材质均为具有导电的金属材质。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型中的水冷电极棒内安装有进水管，使其水冷电极棒能长时间的 工作而不会出现温度过高，使水冷电极棒出现损坏，保证其工作效率高，同时 在水冷电极棒与工作电极之间采用铜编织的连接线，保证两者正常的连通外， 还能保证连接线不会在长时间的上下运动下，出现断裂，使其通电正常。有效 的提高其设备的工作效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新 型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实 施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需 要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些 实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在 不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是实用新型的结构示意图；

图2是工作电极的结构示意图；

图3是水冷电极的结构示意图。

具体实施方式