[实用新型]基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板支撑装置，其特征在于，包括底座、与底座固定连接的固定 盘、以及安装于所述固定盘上的若干顶针，所述顶针均匀分布于所述固定盘的 表面，且所述顶针包括与固定盘连接的主体部及位于主体部顶端的圆弧形顶持 部。

2.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于：所述底座的中心 位置设有第一固定孔，所述固定盘的表面开设有与所述第一固定孔对应的第二 固定孔。

3.根据权利要求2所述的基板支撑装置，其特征在于：所述固定盘的表 面还设有位于所述第二固定孔外侧的若干定位孔，所述顶针收容于所述定位孔 内。

4.根据权利要求3所述的基板支撑装置，其特征在于：所述第一固定孔 的外围绕设有圆环形容纳部，且所述容纳部自底座的表面凹陷形成。

5.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其特征在于：所述顶针的数量 为四个。

6.根据权利要求3所述的基板支撑装置，其特征在于：所述底座与所述 固定盘均呈圆形，所述第二固定孔位于所述固定盘的中心位置，且所述第一固 定孔和所述第二固定孔内设有螺纹结构。

7.根据权利要求3所述的基板支撑装置，其特征在于：所述顶针的主体 部呈圆柱体形且垂直于所述固定盘的表面，所述主体部的底端插置于所述固定 盘的定位孔内。

8.根据权利要求1至7项中任意一项所述的基板支撑装置，其特征在于： 所述若干顶针的顶持部保持在同一水平面上。