[实用新型]一种自动硅片匀胶机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片涂胶设备，特别涉及一种自动硅片匀胶机。

背景技术

硅片的涂胶处理，是将硅片的表面涂上一层薄厚均匀的胶,目前,工艺流程是手动 放置片篮到上料待料位、硅片搬运至上料位置、移片机构取硅片、涂胶机构涂胶、烘干机构 烘干、硅片搬运至下料位片篮中，片篮装满后手动下料，费工费时，效率低、劳动强度大。

发明内容

鉴于现有技术存在的问题，本实用新型提供一种自动硅片涂胶机整机，主要功能 是将硅片自动上料、涂胶、烘干并自动下料到片篮内，具体技术方案是，一种自动硅片匀胶 机，包括机柜、上料机构、涂胶机构、烘干机构、移片机构、下料机构和片篮、其特征在于：上 料机构、下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一 条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构、烘干机构，移片机构固定工作台 的下面，移片机构的载片位于涂胶机构、烘干机构的上方，所述的上料机构，包括托举气缸、 运送带、升降架、上料座、丝杠螺母、滑块，托举气缸固定在机柜工作台上，运送带通过垫块 固定在机柜工作台上，上料座通过侧板与固定，升降架固定在滑块上，滑块连接在导轨上， 导轨固定在上料座内，丝杠螺母中的丝杠固定在上料座内、螺母固定在升降架内；所述的涂 胶机构，包括胶管、点胶机、真空吸盘、调速电机、升降气缸、主轴套管、升降板、导轨和滑块， 导轨固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸通过滑块固定于导轨上并顶住升降板控 制升降板上下运动，升降板通过主轴套管与真空吸盘连接，控制真空吸盘的上下运动，调速 电机与真空吸盘主轴相连，控制真空吸盘的转速，真空吸盘置于自动硅片匀胶机的工作台 的点胶工位上，胶管固定于点胶机上，点胶机固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管正 对准真空吸盘中心点；所述的烘干机构，由筋板、支撑螺钉、支撑架、烘干托盘、加热棒、钢丝 支架、隔热托盘、升降块、气缸组成，筋板固定在机柜工作台下端面，隔热托盘固定在机柜工 作台上，烘干托盘通过支撑螺钉支撑在隔热托盘上，支撑架固定在隔热托盘下方，气缸固定 在支撑架下方，升降块通过浮动接头连接在气缸杆上来完成上下运动，钢丝支架固定在升 降块上，加热棒放在烘干托盘的圆孔内；所述的下料机构的机械结构与上料机构相同，运动 方向与上料机构(2)运动方向相反；所述的移片机构，包括三位置气缸、直线轴承、光轴、载 板、联动块，其中，硅片置于载板上，三位置气缸固定在机柜工作台下方，联动块穿在机柜工 作台中，联动块的下端与气缸活塞杆连接，上端与载板连接，使载板位于机柜工作台上的涂 胶机构、烘干机构上方，直线轴承固定在机柜工作台上，光轴穿入直线轴承且光轴两端分别 固定在两个导轨固定块上，导轨固定块固定在载板上，使联动块带动载板做直线往返运动。

本实用新型的技术效果是实现了自动上下料、涂胶、烘干等工艺流程，自动化高、 精度高，涂胶均匀，厚度可控，减少了员工的劳动量，同时也避免了对硅片的表面划伤。

附图说明

图1是本实用新型的结构立体图。

图2是本实用新型的俯视图。

图3是本实用新型的上料机构结构示意图。

图4是本实用新型的涂胶机构结构示意图。

图5是本实用新型的烘干机构结构示意图。

图6是本实用新型的移片机构结构示意图。

具体实施方式

如图1、2所示，包括机柜1、上料机构2、涂胶机构3、烘干机构4、移片机构5、下料机 构6、片篮7和电气控系统，其特征在于：上料机构2、下料机构6分别固定于机柜1的工作台长 向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构2和下料机构6间，依次 固定涂胶机构3、烘干机构4，移片机构5固定工作台的下面，移片机构5的载片28位于涂胶机 构3、烘干机构4的上方，主要功能是将硅片自动上料、涂胶、烘干并自动下料到片篮内。片篮 放置于上、下料机构中的自动升降机构上，可通过导轨丝杠传动实现升降，从而使片篮中的 插槽依次下降或上升。移片机构将硅片搬运至各个工位，涂胶机构将硅片的表面进行涂胶， 烘干机构将硅片表面的胶进行烘干。