[实用新型]真空执行装置

权利要求书

1.真空执行装置，包括相配装的上壳组件（4）和下壳组件（2），上壳组件与下壳组件的连接处压紧一将上壳组件和下壳组件形成的空腔分隔为上腔和下腔的薄膜（8），上腔通过真空管连接外部真空机构，下腔内穿接有滑杆组件（1），滑杆组件的顶端固定连接在薄膜上，滑杆组件的底端伸出下壳组件连接被执行机构；其特征在于：所述上腔内设置有用于复位薄膜和滑杆组件的弹簧（3），弹簧的顶端固定在上壳组件上，弹簧的底端固定在薄膜上；所述上壳组件（4）上设置有用于感应滑杆组件（1）位移的传感器总成（5），传感器总成的中心杆（51）底端与滑杆组件的滑杆（6）同轴设置并固定连接。

2.根据权利要求1所述的真空执行装置，其特征在于：所述传感器总成（5）通过上盖（19）压紧装配在上壳组件（4）上，传感器总成的下部嵌装在上腔的弹簧（3）中心部，伸出传感器总成的中心杆（51）底端通过固定连接的连接块（52）与设置在薄膜（8）中心的滑杆（6）顶端相铆接。

3.根据权利要求2所述的真空执行装置，其特征在于：所述上壳组件包括剖面为阶梯结构的上壳（18），上壳的顶端设置有配装传感器总成壳体的通孔，通孔的顶沿设置有朝向中心轴线的定位爪（21），相应的上盖（19）底沿设置有用于与定位爪（21）配装来定位传感器总成的豁口（22）；所述上盖的顶沿设置有通过收口压边将传感器总成（5）固定在上壳组件上的凸台（26）。

4.根据权利要求3所述的真空执行装置，其特征在于：所述上壳（18）的侧壁上设置有连接上腔与真空机构的真空管（20）。

5.根据权利要求2所述的真空执行装置，其特征在于：所述薄膜为带翅边的U型结构，U型薄膜的翅边压紧在上壳组件与下壳组件的装配处；所述U型薄膜的底板水平设置，底板上设置有用于保持弹簧配合滑杆组件作上下垂直运动的外导向杯（9）和内导向杯（10），所述外导向杯（9）固定设置在薄膜底板上，内导向杯（10）固定设置在外导向杯（9）上，弹簧（3）位于外导向杯（9）和内导向杯（10）之间，滑杆组件的滑杆顶端依次穿过同轴设置的外导向杯（9）、弹簧（3）和内导向杯（10）后与传感器总成的中心杆（51）底端固定连接。

6.根据权利要求5所述的真空执行装置，其特征在于：所述U型薄膜底板的下端面上固定设置有第一挡板（7）。

7.根据权利要求1所述的真空执行装置，其特征在于：所述下壳组件（2）包括U型下壳（13），U型下壳穿过滑杆组件的中心设置有朝向内腔凸起的凸台，凸台通过固定设置在下壳下底面上的第二挡板（16）封闭；所述凸台与第二挡板之间的空腔内设置有用于对滑杆组件中的滑杆进行导向的导向套（15），导向套（15）与凸台侧壁之间嵌装有密封圈（14）。

8.根据权利要求7所述的真空执行装置，其特征在于：所述下壳（13）与第二挡板（16）通过相配装的螺栓螺母固定连接。

9.根据权利要求7所述的真空执行装置，其特征在于：所述下壳（13）的侧壁上设置有放气孔（27）。

10.根据权利要求1至9任一项所述的真空执行装置，其特征在于：所述滑杆的底端设置有连接被执行机构的外螺纹（11）。