[实用新型]扫描式多功能显微光谱成像系统

权利要求书

1.一种扫描式多功能显微光谱成像系统，其特征在于：包含计算机(1)、三维电动精密平移载物台(2)、脉冲激光光源(3)、光电探测器(4)、连续谱光源(15)、热镜-分束镜切换装置(8)、光扫描装置(9)、第一物镜(10)、第二物镜(14)、光谱仪(5)、第一分束镜(6)、第二分束镜(7)、第一机械光开关(11)、第二机械光开关(17)、第一反射镜(12)、第二反射镜(13)、第三反射镜(16)、数据采集系统(18)；计算机(1)同时连接三维电动精密平移载物台(2)、脉冲激光光源(3)、光电探测器(4)、光扫描装置(9)和数据采集系统(18)，数据采集系统(18)连接光谱仪(5)的相机，脉冲激光光源(3)发出的脉冲激光经过第一分束镜(6)后分为两束，一束被光电探测器(4)接收并将电信号传给计算机(1)，另一束被第二分束镜(7)再次分为两束，一束经过第二机械光开关(17)、热镜-分束镜切换装置(8)、光扫描装置(9)、第一物镜(10)到达三维电动精密平移载物台(2)上的样品；另一束经过第一机械光开关(11)、第一反射镜(12)、第二反射镜(13)、第二物镜(14)到达三维电动精密平移载物台(2)上的样品；连续谱光源(15)发出的光经过第三反射镜(16)反射，经由第二分束镜(7)分为两束，一束经过第二机械光开关(17)、热镜-分束镜切换装置(8)、光扫描装置(9)、第一物镜(10)到达三维电动精密平移载物台(2)上的样品，另一束经过第一机械光开关(11)、第一反射镜(12)、第二反射镜(13)、第二物镜(14)到达三维电动精密平移载物台(2)上的样品。