[实用新型]气量测定系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气量测定系统，属于真空泵气体体积测量技术领域。

背景技术

在现有的测量技术标准中，真空泵(真空系统)的气量测量是按气量范围，选择一至数 个孔板节流装置，从大到小依次更换。

现有的测量技术标准的缺陷：

1、单个的孔板节流装置测量范围有限，在测量范围的最大值与最小值附近误差较大。当 在不同的测量点测量时，经常会需要更换另一种孔板节流装置，从而需要多次吊装孔板节流 装置，增加辅助时间，达不到安全、高效的目的。

2、孔板节流装置需要停机更换，占用时间长，测量效率较低。

3、同一地点校准时，需要停机。

实用新型内容

根据以上现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种气量测定系统， 一次安装，多次测量，减少辅助时间，提高测量效率。

本实用新型所述的气量测定系统，包括节流组件、真空泵，至少两组节流组件并联至汇 流总管，汇流总管连接真空泵入口，节流组件包括孔板节流装置、调节阀，调节阀设置在孔 板节流装置与汇流总管的连接管路上，孔板节流装置上设有差压计。

通过并联多组节流组件，弥补现有常用的单个的孔板节流装置气体体积流量装置的不足， 大幅拓展测量范围，在不停机更换孔板节流装置的情况下，实现一台真空泵的全工作范围测 量。

所述的节流组件包括第一节流组件、第二节流组件，第一节流组件包括第一孔板节流装 置、第一调节阀、第一差压计，第一孔板节流装置连接第一调节阀，第一调节阀连接汇流总 管；第二节流组件包括第二孔板节流装置、第二调节阀、第二差压计，第二孔板节流装置连 接第二调节阀，第二调节阀连接汇流总管。

所述的节流组件还包括第三节流组件，第三节流组件包括第三孔板节流装置、第三调节 阀、第三差压计，第三孔板节流装置连接第三调节阀，第三调节阀连接汇流总管。

所述的孔板节流装置包括依次相接的前直管、前环室、后环室及后直管，孔板设置在前 环室、后环室之间，前环室与前直管之间、后环室与后直管之间设置垫片，前直管、后直管 通过螺栓、螺母锁紧。

所述的汇流总管与真空泵之间设有连接软管及真空计。

所述的调节阀为电控阀门。

测量所用气体为环境空气，气体的入口压力为环境压力，汇流总管气体的出口压力为真 空泵的入口压力，通过孔板节流装置的气体密度是环境空气的密度，用差压计测出流经该孔 板节流装置的气体产生的压差，得出相应的气体体积Q1、Q2……Qn，通过真空泵(真空系 统)入口的气体体积流量是流经汇总管(起稳流、稳压作用)的气体体积之和Q(即 Q＝Q1+Q2+……+Qn)，再按标准规定换算获得。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果是：

1、本气量测定系统通过一次安装，可测量多个工艺工况点，避免频繁更换孔板节流装置， 减少辅助时间，提高测量效率，减少不安全因数。

2、通过并联多组节流组件，拓展系统的测量范围，避开单一孔板节流装置的上下限位置， 使测量更加准确，能够得到真实测量数据。

3、在不停机更换孔板节流装置的情况下，实现一台真空泵的全工作范围测量。

4、对不同的孔板节流装置，在同一工作点能在不停机的情况下，进行相互的校准工作。

5、汇流总管能起到稳流、稳压作用，能够减小测量误差，提高测量准确度。

6、孔板节流装置通过电控阀门调节，通过微机辅助测试系统，使测量方便、减小随机、 人为误差，提高测量的精确度与准确度。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是孔板节流装置结构示意图。

图中：1、第一孔板节流装置；2、第一差压计；3、第一调节阀；4、汇流总管；5、真空 计；6、连接软管；7、真空泵；8、第二孔板节流装置；9、第二差压计；10、第二调节阀； 11、第三孔板节流装置；12、第三差压计；13、第三调节阀；14、前直管；15、垫片；16、 前环室；17、孔板；18、后环室；19、后直管；20、螺栓；21、螺母。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例做进一步说明。

实施例一