[实用新型]一种剥离液废液再生剥离液装置

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及剥离液废液回收技术领域，具体地说是一种剥离液废液再 生剥离液装置。

[背景技术]

现有技术中，一般是将制程设备机台使用过的剥离液回收至废液储槽，其 中，有部分使用过的剥离液经由排气系统抽至冷凝器，冷凝收集至废液储槽。 接着，将废液储槽所储存使用过的剥离液输送至废液清运商进行废液处理。然 而，上述回收方法容易造成资源浪费以及环保问题。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种剥离液废液再生剥离 液装置，能够将原本当废液处理的剥离液废液回收再利用，减少了新液使用量， 降低了废水系统处理负荷，达到了节能减排的作用。

为实现上述目的设计一种剥离液废液再生剥离液装置，包括一段精馏塔1、 二段精馏塔2、三段精馏塔3和薄膜蒸发器4，所述一段精馏塔1上设有进液口 和出液口，所述一段精馏塔1的出液口通过管道连接泵浦一5的进液口，所述 泵浦一5的出液口通过管道连接薄膜蒸发器4的进液口，所述薄膜蒸发器4的 出气口通过管道连接一段精馏塔1的进气口，所述一段精馏塔1的出气口通过 管道连接二段精馏塔2的进气口，所述二段精馏塔2底端设有出液口，所述二 段精馏塔2的出液口通过管道连接泵浦二6的进液口，所述泵浦二6的出液口 通过管道连接三段精馏塔3的进液口，所述三段精馏塔3的出气口通过管道连 接冷却器一7，所述冷却器一7的出液口连接剥离液回收管道。

所述二段精馏塔2顶端设有出气口，所述二段精馏塔2的出气口通过管道 连接冷却器二8，所述冷却器二8的出液口连接废水排水管道。

所述薄膜蒸发器4、三段精馏塔3底端均设有高沸点物质排出口。

本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，设计合理，通过设置一段 精馏塔、二段精馏塔、三段精馏塔和薄膜蒸发器，从而将原本当废液处理的剥 离液废液回收再利用，减少了新液使用量，降低了废水系统处理负荷，达到节 能减排的作用。由于光阻剥离液主要成分高沸点且几乎全溶于水的有机化合物， 主要成为BDG加MEA或DMSO加MEA，从而溶剂型剥离液具有容易回收的优点， 能够减少废液量及降低成本。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、一段精馏塔2、二段精馏塔3、三段精馏塔4、薄膜蒸发器5、 泵浦一6、泵浦二7、冷却器一8、冷却器二。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图1所示，本实用新型包括：一段精馏塔1、二段精馏塔2、三段精馏 塔3和薄膜蒸发器4，一段精馏塔1上设有进液口和出液口，一段精馏塔1的出 液口通过管道连接泵浦一5的进液口，泵浦一5的出液口通过管道连接薄膜蒸 发器4的进液口，薄膜蒸发器4的出气口通过管道连接一段精馏塔1的进气口， 一段精馏塔1的出气口通过管道连接二段精馏塔2的进气口，二段精馏塔2底 端设有出液口，二段精馏塔2的出液口通过管道连接泵浦二6的进液口，泵浦 二6的出液口通过管道连接三段精馏塔3的进液口，三段精馏塔3的出气口通 过管道连接冷却器一7，冷却器一7的出液口连接剥离液回收管道。其中，二段 精馏塔2顶端设有出气口，二段精馏塔2的出气口通过管道连接冷却器二8，冷 却器二8的出液口连接废水排水管道。薄膜蒸发器4、三段精馏塔3底端均设有 高沸点物质排出口。

本实用新型的工作原理为：剥离液废液首先在一段精馏塔进行加热，以达 到蒸发大部分水分的作用，然后再利用泵浦一将去除水分之后的剥离液废液输 送到薄膜蒸发器，利用加热以及刮刀将光阻等高沸点物质进行去除，因为剥离 液的沸点比光阻低，所以剥离液会形成气态，形成气态的剥离液废液再次经过 一段精馏塔去除剩余的水分，再到二段精馏塔浓缩及冷凝处理，也就是将气态 的低沸点的废水经过冷凝排出，然后再次利用泵浦二将液态的剥离液从二段精 馏塔输送到三段精馏塔进行提纯处理，因为剥离液的沸点比不纯物的沸点低， 所以剥离液会再次成为气态，再利用冷却器将气态的剥离液变成液态进行收集， 即回收剥离液半成品。同时，三段精馏塔会将不纯物等高沸点物质进行排出。 半成品剥离液再经过浓度计测出实际浓度值后，利用PLC根据浓度值计算需要 添加多少量的MEA或者DMSO，再经过电子秤控制添加的MEA或者DMSO的量，最 后经过浓度调整成剥离液成品，供应到制程端使用。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的 精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换 方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。