[实用新型]基于PSD和楔形平晶微分干涉法的晶圆表面检测装置有效
| 申请号： | 201521006469.2 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN205537546U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 于雪莲;马文书;唐晓慧;周坤;赵文彬;张嘉成;滕飞 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙江省哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 psd 楔形 微分 干涉 表面 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
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