[实用新型]一种高精度冷却系统

权利要求书

1.一种高精度冷却系统，其特征在于：包括：制冷剂储藏装置（1）、输送装置（2）、冷却装置（3）和控制装置（4），所述的制冷剂储藏装置（1）通过输送装置（2）与冷却装置（3）连接，所述制冷剂储藏装置（1）、输送装置（2）和冷却装置（3）均与控制装置（4）连接，所述的制冷剂储藏装置（1）中设有液氮或者干冰；

所述的控制装置（4）中设有感应模块（41）、位置检测模块（42）、校验模块（43）、温度控制模块（44）和控制系统（45），所述的感应模块（41）与温度控制模块（44）连接，所述的感应模块（41）、位置检测模块（42）、校验模块（43）和温度控制模块（44）均与控制系统（45）连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度冷却系统，其特征在于：所述的输送装置（2）中设有输送管道，所述的输送管道上设有控制阀，所述的控制阀与控制系统（45）连接。

3.根据权利要求1所述的一种高精度冷却系统，其特征在于：所述的制冷剂储藏装置（1）呈密封状，其内侧设有耐温层。

4.根据权利要求1所述的一种高精度冷却系统，其特征在于：所述的感应模块（41）中设有温度传感器，所述的温度传感器与温度控制模块（44）连接。

5.根据权利要求1所述的一种高精度冷却系统，其特征在于：所述的冷却装置（3）中设有冷却管，所述的冷却管上设有多个冷却枪，所述的冷却抢与控制系统（45）连接。

6.根据权利要求1所述的一种高精度冷却系统，其特征在于：所述的控制系统（45）由数据处理模块和控制器模块构成，所述的感应模块（41）、位置检测模块（42）、校验模块（43）和温度控制模块（44）均与数据处理模块的输入端连接，所述的数据处理模块的输出端与控制器模块连接。