[实用新型]一种常压辉光等离子体装置

权利要求书

1.一种常压辉光等离子体装置，其特征在于，包括：

进气系统、中频等离子体腔室、射频等离子体腔室和排气系统；其中

所述进气系统设置于所述中频等离子体腔室的一端，并且所述进气系统被构造为以预 定速度将气体排入所述中频等离子体腔室；

所述射频等离子体腔室的一端与所述中频等离子体腔室的另一端固定联接，并且所述 排气系统设置于所述射频等离子体腔室的另一端；其中

通过所述进气系统排入的所述气体经由所述中频等离子体腔室进入所述射频等离子 体腔室，并最终经由所述排气系统排出。

2.如权利要求1所述的等离子体装置，其特征在于，所述中频等离子体腔室包括中频 电源、中频电极、中频介质板和中频多孔地电极；其中，

所述中频电极设置于所述中频等离子体腔室内部，所述中频电源与所述中频电极电气 连接，并且所述中频多孔地电极设置于所述中频等离子体腔室的所述另一端。

3.如权利要求2所述的等离子体装置，其特征在于，所述射频等离子体腔室包括射频 电源、射频电极、射频介质板和射频多孔地电极；其中，

所述射频电极设置于所述中频等离子体腔室内部，所述射频电源与所述射频电极电气 连接，并且所述射频多孔地电极设置于所述射频等离子体腔室的所述一端。

4.如权利要求3所述的等离子体装置，其特征在于，所述中频多孔地电极与所述射频 多孔地电极为同一个多孔地电极，所述一个多孔地电极固定于所述中频等离子体腔室与所 述射频等离子体腔室之间，并且所述中频等离子体腔室与所述射频等离子体腔室共用所述 一个多孔地电极。

5.如权利要求4所述的等离子体装置，其特征在于，所述中频等离子体腔室与所述射 频等离子体腔室为外径相同的圆筒状结构。

6.如权利要求5所述的等离子体装置，其特征在于，所述进气系统包括设置于所述中 频等离子体腔室的一端的端面上的两个进气口，以及从每个进气口延伸进入所述中频等离 子体腔室的进气管路；其中，所述两个进气口以相对于所述中频等离子体腔室的一端的所 述端面的中心对称的方式布置。