[实用新型]一种带隔离阀的单晶炉

权利要求书

1.一种带隔离阀的单晶炉，其特征在于：包括侧开式副室(2)、炉筒(3)和晶体提升 机构(5)，所述侧开式副室(2)为一体式结构，该侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副 室主体(2-1)和门板(2-2)，所述副室主体(2-1)一侧面上设有开口，所述门板(2-2)通 过铰链(2-3)转动连接在副室主体(2-1)上，门板(2-2)与副室主体(2-1)侧面上的开口 相配合；

所述铰链(2-3)包括主体连接件(2-3-1)、门板连接件(2-3-2)和转轴(2-3-3)，所述 主体连接件(2-3-1)与副室主体(2-1)固连，所述门板连接件(2-3-2)与门板(2-2)固连， 所述门板连接件(2-3-2)的上下两端均向外延伸构成转轴(2-3-3)，所述主体连接件(2-3-1) 的上下两端均设有腰型孔(2-3-1-1)，所述转轴(2-3-3)安装在所述腰型孔(2-3-1-1)内；

所述侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述隔离阀(4)包括隔离电机(4-1)、连 轴(4-2)、阀座(4-3)、阀盖(4-4)和转动臂(4-5)，所述阀座(4-3)安装于侧开式副室(2) 下部横截面上，阀座(4-3)上设有圆形通孔；所述隔离电机(4-1)的输出轴上固连有隔离 电机齿轮(4-1-1)，连轴(4-2)的一端固连有连轴齿轮(4-2-1)，所述隔离电机齿轮(4-1-1) 与连轴齿轮(4-2-1)啮合传功；所述连轴(4-2)的另一端通过转动臂(4-5)与阀盖(4-4) 固连，阀盖(4-4)与阀座(4-3)上的圆形通孔相配合；

所述连轴齿轮(4-2-1)上固连有光电感应块三(4-6)，光电限位开关四(SQ4)、光电限 位开关五(SQ5)分别固定于侧开式副室(2)侧面的两个支架上且光电限位开关四(SQ4)、 光电限位开关五(SQ5)分别位于光电感应块三(4-6)的两侧；

所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相 连通，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2)的上方。

2.根据权利要求1所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：还包括打开开关(SB3)和 关闭开关(SB4)，其中，打开开关(SB3)与控制隔离电机(4-1)正转的电路连锁控制，关 闭开关(SB4)与控制隔离电机(4-1)反转的电路连锁控制。

3.根据权利要求2所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：并联的两路一端与电源连接， 另一端与隔离电机(4-1)相连，所述并联的两路中一路为串联的打开开关(SB3)和光电限 位开关四(SQ4)，另一路为串联的关闭开关(SB4)和光电限位开关五(SQ5)。

4.根据权利要求1所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：所述主体连接件(2-3-1) 和门板连接件(2-3-2)上均设有通孔，采用螺钉穿过主体连接件(2-3-1)上的通孔将主体连 接件(2-3-1)与副室主体(2-1)固连，采用螺钉穿过门板连接件(2-3-2)上的通孔将门板 连接件(2-3-2)与门板(2-2)固连。

5.根据权利要求1所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：所述铰链(2-3)的数量为 两个，两个铰链(2-3)分别固定在副室主体(2-1)的上部、下部。

6.根据权利要求1所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：所述阀座(4-3)上固定有 连轴轴套(4-7)，所述连轴(4-2)安装于连轴轴套(4-7)内。

7.根据权利要求1或2所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：所述阀座(4-3)上的 圆形通孔处设有陶瓷密封圈。

8.根据权利要求2或3所述的带隔离阀的单晶炉，其特征在于：所述打开开关(SB3) 和关闭开关(SB4)共同组成一个旋转开关，该旋转开关旋至一侧时打开开关(SB3)闭合， 旋至另一侧时关闭开关(SB4)闭合。