[实用新型]一种CZ直拉法大直径单晶炉

权利要求书

1.一种CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：包括侧开式副室(2)、炉筒(3)和晶 体提升机构(5)，所述侧开式副室(2)为一体式结构，该侧开式副室(2)包括内部设有空 腔的副室主体(2-1)和门板(2-2)，所述副室主体(2-1)一侧面上设有开口，所述门板(2-2) 通过铰链(2-3)转动连接在副室主体(2-1)上，门板(2-2)与副室主体(2-1)侧面上的开 口相配合；

所述副室主体(2-1)与门板(2-2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈(2-4)，该密封 圈(2-4)包括密封圈本体(2-4-2)和弧形凸起(2-4-1)，密封圈本体(2-4-2)的横截面为中 部设有通孔的矩形，密封圈本体(2-4-2)的一侧面上设有弧形凸起(2-4-1)；副室主体(2-1) 与门板(2-2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈(2-4)上的弧形凸起(2-4-1) 嵌入上述密封圈槽内；

所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相 连通，侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2) 的上方。

2.根据权利要求1所述的CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：所述铰链(2-3)包括 主体连接件(2-3-1)、门板连接件(2-3-2)和转轴(2-3-3)，所述主体连接件(2-3-1)与副 室主体(2-1)固连，所述门板连接件(2-3-2)与门板(2-2)固连，所述门板连接件(2-3-2) 的上下两端均向外延伸构成转轴(2-3-3)，所述主体连接件(2-3-1)的上下两端均设有腰型 孔(2-3-1-1)，所述转轴(2-3-3)安装在所述腰型孔(2-3-1-1)内。

3.根据权利要求1所述的CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：所述密封圈(2-4)采 用氟橡胶制成。

4.根据权利要求1所述的CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：所述主体连接件(2-3-1) 和门板连接件(2-3-2)上均设有通孔，采用螺钉穿过主体连接件(2-3-1)上的通孔将主体连 接件(2-3-1)与副室主体(2-1)固连，采用螺钉穿过门板连接件(2-3-2)上的通孔将门板 连接件(2-3-2)与门板(2-2)固连。

5.根据权利要求1或4所述的CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：所述弧形凸起 (2-4-1)的横截面为圆心角大于180°的圆弧。

6.根据权利要求1或4所述的CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：所述铰链(2-3) 的数量为两个，两个铰链(2-3)分别固定在副室主体(2-1)的上部、下部。