[实用新型]用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具有效
| 申请号： | 201521017456.5 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN205635775U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李英峰;罗佑楠;李美成;李瑞科;刘文健 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102206*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 湿法 单面 单晶硅 模具 | ||
【说明书】：
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