[实用新型]一种喷丝板镜检仪

权利要求书

1.一种喷丝板镜检仪，包括用以拍摄喷丝板图像以检测微孔状态的主镜 头，其特征在于，还包括：

副镜头，相对喷丝板三维可移动安装，在垂直于喷丝板的轴方向上的移动 范围内副镜头焦距能够落在喷丝板上，副镜头用以拍摄喷丝板在无下光源下的 第一喷丝板图像；

下光源，配合所述副镜头安装，设置在喷丝板下方，用以提供光源从而副 镜头得以拍摄所述喷丝板在有下光源下的第二喷丝板图像，所述第二喷丝板图 像用于和所述第一喷丝板图像比对。

2.如权利要求1所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括检测控制装置， 用以：接收所述第一喷丝板图像和第二喷丝板图像，并进行图像比对确定所述 喷丝板微孔位置及喷丝板边缘位置。

3.如权利要求2所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括图像合成装置， 用以：将多次拍摄所述喷丝板在无光源下的图像合成为所述第一喷丝板图像， 将多次拍摄所述喷丝板在有光源下的图像合成为所述第二喷丝板图像。

4.如权利要求2所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，所述检测控制装置中 预设有喷丝板微孔孔位文件，根据喷丝板微孔位置、喷丝板边缘位置对喷丝板 微孔孔位文件进行孔位位置微调。

5.如权利要求1所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括三维移动装置， 副镜头和/或喷丝板可移动安装在三维移动装置的一轴上，调整三维移动装置 能使副镜头和喷丝板位置对应。

6.如权利要求5所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，所述主镜头和副镜头 可移动安装在三维移动装置的垂直于喷丝板的Z轴滑台上。

7.如权利要求1或6所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，所述主镜头和副 镜头通过连接件固定连接。

8.如权利要求1所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括主光源，用以 提供主镜头检测的光源。

9.如权利要求1所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括吹针，和所述 主镜头固定连接，用以对准检测后的微孔并进行吹气处理。

10.如权利要求1所述的喷丝板镜检仪，其特征在于，还包括激光灯，和 所述主镜头固定连接，用以指示孔位置。