[实用新型]干涉及投影一体化非球面偏心检测仪有效
| 申请号： | 201521025166.5 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN205209433U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王俊;包凯凯;程宏;王勤 | 申请（专利权）人： | 杭州志达光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/27;G01B11/26;G01C9/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 311121 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涉及 投影 一体化 球面 偏心 检测 | ||
【权利要求书】：
1.干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于包括激光光学系统A（1）和激光光学系统B（9），所述的激光光学系统A（1）底部固定设置多维位移平台A（2），所述的多维位移平台A（2）下方配合设置多维位移平台B（7），所述的多维位移平台B（7）下方配合设置激光光学系统B（9），所述的多维位移平台B（7）上固定设置镜片夹具（6）。
2.如权利要求1所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的激光光学系统B（9）设置在底座（10）上，所述的底座（10）上固定设置支架B（8），所述的支架B（8）上设置多维位移平台B（7）和支架A（3），所述的支架A（3）上设置多维位移平台A（2）。
3.如权利要求2所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的支架A（3）包括立柱A（301）和固定板A（302），所述的固定板A（302）上设有供光路通过的通孔A（303），所述的支架B（8）包括立柱B（801）和固定板B（802），所述的固定板B（802）上设有供光路通过的通孔B（803）。
4.如权利要求3所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的多维位移平台A（2）设置在固定板A（302）上，所述的多维位移平台B（7）设置在固定板B（802）上。
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