[实用新型]一种晶棒磨边设备

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产设备设计领域，具体涉及一种晶棒磨边设备。

背景技术

在硅片加工过程中，晶棒磨边是硅片切割加工前的一道重要工序，按工艺要 求，晶棒磨边不能出现光亮，更不能出现崩边，否则，就会影响硅片质量，崩边 会直接减少晶棒的得片率即影响晶棒的利用率，经济损失很大。现有磨边工艺大 都采用晶棒磨边设备对晶棒的棱边进行打磨，由于现有的磨边设备结构复杂，容 易出现故障；另外，为了确保晶棒打磨效果及效率，需要定期更换打磨部件-磨 盘。现有的晶棒磨边设备中，磨盘大都通过螺钉固定在基座上，导致磨盘拆装操 作比较繁琐，费时费工。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒磨边设备，其结构简单合理，并且其上 磨盘拆装便捷，省时省工。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶棒磨边设备，包括机架，所述机架上设有V形定位槽和设于所述V 形定位槽下方的打磨装置；还包括驱动所述打磨装置沿横向往复移动的驱动装 置，所述驱动装置包括驱动电机和受所述驱动电机驱动的丝杆；所述打磨装置包 括与所述丝杆配合的活动座、设于所述活动座上的打磨电机和由所述打磨电机驱 动的打磨组件，所述打磨组件包括与所述打磨电机的输出轴固定相连的基座和设 于所述基座上的磨盘，所述基座上端面开设有燕尾槽，所述磨盘底端设有与所述 燕尾槽相配合的燕尾凸台，所述燕尾槽内设有将所述燕尾凸台锁定的锁定组件；

所述锁定组件为弹性锁定组件，其设置在所述燕尾槽内的阶梯型的限位通孔 内，所述弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块、为所述锁块提供复位 弹力的弹簧和与限位通孔螺接的限位件；所述燕尾槽与所述燕尾凸台完成配合后 所述锁块在所述弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在所述燕尾 凸台的相应端面上，所述锁块上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面。

优选的，所述机架下端设有滚轮和能够调节所述机架高度的支撑脚，所述支 撑脚包括螺杆和与所述螺杆下端可转动连接的支撑座，所述螺杆上连接有用于将 其固定在所述机架上的上紧固螺母和下紧固螺母，所述机架上设有用于固定所述 螺杆的安装板，所述安装板开设有适于所述螺杆穿插的通孔，所述螺杆设于所述 通孔内，所述螺杆穿过所述通孔后通过所述上紧固螺母和所述下紧固螺母夹紧所 述安装板的方式将其固定在所述安装板上。

优选的，所述驱动电机通过螺栓与所述机架螺接，所述机架上用于所述螺栓 穿插的孔为条形通孔。

优选的，所述磨盘上表面设有若干向上凸起的打磨凸条，所述打磨凸条上端 面为打磨面。

优选的，多个所述打磨凸条由所述磨盘中心向外呈辐射状延伸，相邻所述打 磨凸条之间形成排料槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用本实用新型中的结构，打 磨时，开启机器，将晶棒放入V形定位槽内，利用打磨电机驱动所述打磨组件进 行高速转动，驱动电机驱动丝杠进行正、反两向转动，同时丝杠带动活动座进行 往复横向运动，实现设备的打磨功能，该设备结构简单合理，故障率很低，实践 证明具有很好的使用效果；另外，在组装磨盘和基座时，将磨盘上的燕尾凸台插 入基座上的燕尾槽内，燕尾凸台在插入燕尾槽的过程中，通过倾斜引导面引导锁 块向下方运动，使锁块进入限位通孔内，这样，燕尾凸台就能顺畅的移动到所需 要的位置，燕尾槽与燕尾凸台完成配合后，燕尾凸台恰好完全经过锁块，这时， 锁块在弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面抵靠在燕尾凸台的相应端面 上，完成燕尾凸台的锁定，从而完成磨盘和基座的组装；拆卸磨盘时，只需用手 或者借助工具按压锁块，使锁块完全进入限位通孔内，以解除锁块对燕尾凸台的 锁定，这样燕尾凸台就能顺畅的从燕尾槽内移出，实现了快速拆装磨盘，省时省 工。

附图说明

图1为本实用新型中的晶棒磨边设备的结构示意图；

图2为本实用新型中的晶棒磨边设备的局部剖视图；

图3为本实用新型中的晶棒磨边设备的打磨组件的爆炸图；

图4为本实用新型中的晶棒磨边设备的锁定组件的结构示意图；

图5为本实用新型中的晶棒磨边设备的磨盘的结构示意图。