[实用新型]安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置

权利要求书

1.安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，包括鼓风机(1)、鼓风机导气管(2)、风幕套管(3)、气口(4)、隔板(5)、抽风机(6)、抽风机导气管(7)、炉门感应器(8)、中控单元(9)，所述的鼓风机导气管(2)的两端分别与鼓风机(1)和风幕套管(3)连接，所述的抽风机导气管(7)的两端分别与抽风机(6)和风幕套管(3)连接，所述的风幕套管(3)上设有气口(4)，所述风幕套管(3)内的水平方向的上设有两个隔板(5)，所述的鼓风机(1)、抽风机(6)、炉门感应器(8)分别与中控单元(9)连接。

2.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，所述的风幕套管(3)上设有与气口(4)对应的导气板(10)。

3.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，所述气口(4)的出气方向与进气方向均为平行于风幕套管(3)的横截面。

4.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，所述鼓风机导气管(2)的数目至少为1根。

5.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，所述抽风机导气管(7)的数目至少为1根。

6.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，所述的鼓风机(1)上设有气体加热装置。

7.根据权利要求1所述的安装在管式低频PECVD炉口的风幕隔热装置，其特征在于，气口(4)的数目为30~50个。