[实用新型]用于芯片视觉检测的芯片载运装置有效
| 申请号： | 201521031263.5 | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN205879815U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 尹丽云 |
| 地址： | 400039 重庆市高新区石桥铺石杨路17号*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 视觉 检测 载运 装置 | ||
【说明书】：
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