[实用新型]自定心真空吸附盘有效
申请号: | 201521031432.5 | 申请日: | 2015-12-11 |
公开(公告)号: | CN205363655U | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | 周豪 | 申请(专利权)人: | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 陈淑章 |
地址: | 200433 上海市杨*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定心 真空 吸附 | ||
【权利要求书】:
1.一种自定心真空吸附盘,其特征在于,包括具有真空吸附槽的前板和卡盘,卡盘与前板紧密贴合,前板和卡盘的中心有贯通的真空气孔,所述的卡盘上连接卡爪,前板上有卡爪的避让槽。
2.根据权利要求1所述的自定心真空吸附盘,其特征在于,所述卡盘上有三个卡爪等圆周分布。
3.根据权利要求1所述的自定心真空吸附盘,其特征在于,卡盘的材质为铝,卡爪的材质为钢。
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