[实用新型]石墨舟固定硅片用销钉有效
| 申请号： | 201521033842.3 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN205211725U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张孟彤;顾爱平 | 申请（专利权）人： | 上海弘枫实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201716 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 固定 硅片 销钉 | ||
【权利要求书】：
1.石墨舟固定硅片用销钉，包括与石墨舟的销钉孔过盈配合的中部圆柱 段，所述中部圆柱段的两端分别设置有用于承托硅片的承托段，其特征在于， 所述承托段的外端面设置有调节槽。
2.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述承托 段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小圆柱 段，所述小圆柱段的内侧外周面设置有用以供硅片插入固定的楔形槽。
3.如权利要求2所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述小圆 柱段的外端面外周处理为圆角结构。
4.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述承托 段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小棱柱 段。
5.如权利要求4所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述小棱 柱段的外端面外周处理为圆角结构。
6.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述调节 槽为腰形槽。
7.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述调节 槽贯穿所述中部圆柱段和承托段。
8.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述中部 圆柱段的两端面外周处理为45°倒角结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
