[实用新型]一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置有效

专利信息
申请号: 201521038086.3 申请日: 2015-12-15
公开(公告)号: CN205313715U 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 周森安;李豪;徐军;吴锋;唐慧丽;安俊超;李县辉 申请(专利权)人: 河南西格马晶体科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B29/64;C30B11/00
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 刘兴华
地址: 471000 河南省洛阳市高*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 梯度 水平 移动 法制 片状 装置
【权利要求书】:

1.一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,其特征在于:该装置包括隔热屏 (1)、多个发热体(2)、坩埚(4)、多个温区分隔板(5)、炉膛保温层(7)、坩埚支撑架(8)和坩埚 顶杆(10),所述炉膛保温层(7)一侧开口,隔热屏(1)与炉膛保温层(7)的开口侧可拆卸连接 且形成封闭的空间,所述坩埚支撑架(8)水平设置在此封闭的空间内,且坩埚支撑架(8)的 端部与炉膛保温层(7)固定连接,所述坩埚(4)呈扁平状,且放置在坩埚支撑架(8)上,所述 发热体(2)呈长条状,且与坩埚(4)宽度方向平行的设置在坩埚(4)的上下两侧,发热体(2) 端部固定设置在炉膛保温层(7)上,所述温区分隔板(5)呈环形,其环形外壁与炉膛保温层 (7)内壁固定连接,环形内壁与坩埚(4)及坩埚支撑架(8)间隙配合,所述温区分隔板(5)间 隔设置在多个发热体(2)之间,所述坩埚顶杆(10)的一端穿过炉膛保温层(7)设置在坩埚 (4)的端部,且坩埚顶杆(10)与隔热屏(1)相对垂直。

2.如权利要求1所述的温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,其特征在于:所述隔 热屏(1)和炉膛保温层(7)上设有与坩埚支撑架(8)侧部相匹配的卡槽,坩埚支撑架(8)的端 部固定在隔热屏(1)及炉膛保温层(7)的卡槽内。

3.如权利要求1所述的温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,其特征在于:所述坩 埚顶杆(10)与坩埚(4)的端部固定连接。

4.如权利要求1所述的温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,其特征在于:所述隔 热屏(1)与炉膛保温层(7)通过螺栓固定连接。

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