[实用新型]一种硅片固定夹具

权利要求书

1.一种硅片固定夹具，用于太阳能电池PECVD镀膜石墨舟(1)内的硅片(2)夹持，其特征在于：所述固定夹具(3)包括横挡(31)，所述横挡上设有若干方向相同且分布均匀的夹杆组(32)，所述夹杆组分别对应所述石墨舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆(321)，所述夹杆间距(33)与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相吻合。

2.根据权利要求1所述的一种硅片固定夹具，其特征在于：所述夹杆组(32)与所述横挡(31)一体结构且垂直于横挡。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片固定夹具，其特征在于：所述横挡(31)轴向截面呈长方形或正方形，所述夹杆(321)轴向截面呈长方形或正方形。

4.根据权利要求3所述的一种硅片固定夹具，其特征在于：所述夹杆(321)前端部的纵向截面呈三角状，其斜面对应并触靠硅片边缘。

5.根据权利要求1所述的一种硅片固定夹具，其特征在于：所述固定夹具(3)的材料为陶瓷材料。