[实用新型]一种用于真空辊道的在线测量装置

说明书

技术领域

本发明创造属于玻璃深加工设备技术领域，具体涉及一种用于玻璃镀膜设备的真空 腔室内旋转辊道绝缘的在线监测装置。

背景技术

玻璃深加工技术领域中镀膜设备生产大板玻璃时普遍存在玻璃表面的放电现象。玻 璃镀膜后表面出现放电现象会造成镀膜玻璃的报废。在镀膜设备中银靶辊道的绝缘失效 是造成大板玻璃表面产生放电的原因之一。通常的状态下，当大板玻璃出现放电时，由 于辊道处于真空腔室中，无法对旋转的辊道绝缘进行测量，无法判断玻璃的放电是否由 于银靶辊道绝缘失效造成。辊道的绝缘测量只有在设备换靶检修时真空室回气后，在大 气状态下进行测量。这样种情况下，一方面无法实时获得玻璃放电与银靶辊道绝缘失效 的关联情况，线下测量具有滞后性，从而获得指导性解决方案；另一方面，真空室回气 严重影响生产稳定性，测试后投入生产时还需反复进行调试，降低生产效率。

发明内容

本发明创造为解决现有技术中的问题，提供了一种用于真空辊道的在线测量装置， 能够在连续生产时对镀膜设备中的传动辊道绝缘进行在线测量，将连续生产时旋转辊道 的绝缘情况实时的反映出来。

本发明创造提供的一种用于真空辊道的在线测量装置，包括端轴、壳体以及旋转轴 承；所述端轴一侧与真空辊道的轴头固定连接，另一端设有深入所述壳体内的凸起；所 述壳体中央设有供所述端轴的凸起通过的壳孔，所述旋转轴承的外套固定于所述壳体内 部，且所述旋转轴承的内套与深入所述壳体内的端轴的凸起固定连接；其中，所述端轴、 壳体以及旋转轴承均由导体材料(如金属)制成，所述壳体连接有测量引线。

进一步，所述端轴与真空辊道的轴头以插接的方式固定连接，所述端轴上设有供真 空辊道的轴头插入的插槽，优选的，所述插槽与真空辊道的轴头过盈配合连接。

进一步，作为所述端轴与真空辊道的轴头的另一种连接方式，所述端轴上设有若干 顶丝孔，真空辊道的轴头通过穿过所述顶丝孔的顶丝固定于所述端轴内。更进一步，所 述顶丝孔与顶丝优选为3个，互成120°角均布于所述端轴上。

进一步，所述旋转轴承靠近所述真空辊道的一侧与所述壳体内部抵接。

进一步，所述端轴的凸起上与所述旋转轴承的远离所述真空辊道的一侧相邻的位置 上还固定有挡圈，用于使旋转轴承更好地定位。更进一步，所述端轴的凸起上还设有供 所述挡圈安装或定位的环槽。

进一步，所述壳体后端还设有盖体，能够起到防护作用，防止真空腔室内部的溅射 物进入旋转轴承内部造成旋转连接部分异常损坏。更进一步，所述盖体上还设有盖环， 所述盖体盖合时，所述盖环的自由端与所述旋转轴承的远离所述真空辊道的一侧邻接， 一方面，所述盖环能够实现所述盖体与壳体的插接连接，另一方面，所述盖环能够对所 述旋转轴承起到辅助定位的作用。

进一步，作为所述盖体与壳体的附加的或另一种连接方式，所述盖体上设有若干带 螺纹的盖孔，所述壳体上设有与所述盖孔位置相对应的若干带螺纹的连接孔，所述盖体 与壳体通过分别穿过所述盖孔和连接孔的螺钉进行附加的或单独的固定连接。优选的， 所述盖孔和连接孔的数量各为3个，互成120°角分别均布于所述盖体和壳体上。

本发明创造的有益效果是：能够在连续生产时对镀膜设备中的传动辊道绝缘进行在 线测量，将连续生产时旋转辊道的绝缘情况实时的反映出来，一方面能够协助分析生产 时玻璃放电的原因，为解决大板玻璃的放电及时提供可靠的依据，另一方面减少了回气 状态下检测连续旋转银靶辊道绝缘性的繁琐操作，有利于稳定生产、提高效率。

附图说明

图1是本发明创造一种结构示意图；

图2是图1的分解图；

图3是本发明创造另一种结构示意图；

图4是图3的分解图；

图5是本发明创造安装使用状态示意图。

其中，1-端轴；11-插槽；12-凸起；13-环槽；14-顶丝孔；15-顶丝；2-壳体；21-壳孔； 22-连接孔；3-旋转轴承；31-外套；32-内套；4-真空辊道；41-轴头；5-测量引线；6-挡圈； 7-盖体；71-盖环；72-盖孔；73-螺钉；8-真空腔室；81-真空接头；9-测量仪表。

具体实施方式