[实用新型]一种直拉单晶硅的Sb掺杂装置有效
| 申请号： | 201521047045.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN205329208U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 沈杨宇;贺贤汉;小暮康弘 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 陈淑章 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 sb 掺杂 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特征在于，包括：石英钟罩， 所述石英钟罩外部顶端设有吊环，所述石英钟罩内设有石英烧杯，所述石 英烧杯的底部呈锥形，底部中心设有开孔。
2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特征在 于：所述石英钟罩内部顶端设有挂钩，所述石英烧杯通过所述挂钩悬挂于 所述石英钟罩内。
3.根据权利要求2所述的一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特征在 于：所述石英烧杯的杯体两侧对称设有杯挂，所述杯挂悬挂于所述挂钩上。
4.根据权利要求3所述的一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特征在 于：所述杯挂熔接于所述石英烧杯的杯体两侧。
5.根据权利要求2或3所述的一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特 征在于：所述挂钩为J形挂钩或S形挂钩。
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