[实用新型]硅片原料酸洗加酸循环系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片原料酸洗设备，特别是一种硅片原料酸洗加酸循环系统。

背景技术

目前，硅片加工生产企业对硅片原料进行酸洗处理的加酸循环系统由布置于酸洗箱内的 酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于 循环管道上的酸泵组成，在酸泵的作用下使酸循环，在酸箱中造成酸的扰动，达到酸洗的目 的。现有的加酸循环系统多适用于处理多晶硅料和整段的头尾料，因此，酸液出口通常直通 口，对于处理原料种类非常繁多和复杂的企业来说并不适用，主要原因在于，处理原料总会 有一些碎料产生，在抽取酸的过程中碎料通过管道很容易进入酸泵，碎料的进入会对酸泵的 内部结构造成极大的损伤，严重的影响酸泵的使用寿命。为了防止碎料进入酸泵，通常有使 用者在酸液出口(直通口)处安装过滤网，以防止碎料进入循环管道，但其仍存在如下问题： 1、过滤网的使用使酸泵单位时间内流量处理量降低，造成酸液在酸箱中扰动效果差；2、过 滤网使用寿命较短，需要频繁更换，不利于连续生产。

发明内容

本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的结构设计合理、使用可靠的硅片原料 酸洗加酸循环系统。

本实用新型的技术方案是：

一种硅片原料酸洗加酸循环系统，包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸 洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵，其特征在 于：所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP-R热熔管，所述PP-R热熔管的外周均匀布满 圆通孔，所述酸泵的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道，所述过滤管道状似三通管， 其由与酸液流动方向平行的水平连接段和连接于水平连接段下方的后倾段组成，所述后倾段 向酸泵的方向倾斜且末端设有封堵盖，所述水平连接段靠近酸泵侧端部内置有过滤网。

上述的硅片原料酸洗加酸循环系统，所述过滤管道前、后侧的循环管道上分别设有前、 后控制阀，所述前控制阀前侧的循环管道和后控制阀后侧的循环管道之间连接有旁通管道， 所述旁通管道上设有旁通控制阀。旁通管道的设计便于在不停止酸洗作业的情况下清理过滤 管道。

本实用新型的有益效果是：对酸泵抽入酸的过程中实现两道防护，第一层防护是利用布 满圆通孔的PP-R热熔管代替原有的直通入口，有效防止了抽酸过程中碎料被抽入酸泵中，同 时保证了酸泵的单位时间流量，使用寿命长；第二层防护是利用酸泵前的过滤管道，过滤管 道的水平段的过滤网对酸液再次过滤，而后倾段用于收集碎料，可定期处理被过滤的碎料。 综上两点显著提高了对碎料的过滤效果，延长了酸泵的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1.PP-R热熔管、2.圆通孔、3.循环管道、4.前控制阀、5.水平连接段、6.后倾段、 7.封堵盖、8.过滤网、9.后控制阀、10.酸泵、11.旁通管道、12.旁通控制阀、13.酸洗箱。

具体实施方式

如图所示，该硅片原料酸洗加酸循环系统，包括布置于酸洗箱13内的酸液入口和酸液出 口、设于酸洗箱13外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道3、设于循环管道3上 的酸泵10。所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP-R热熔管1，所述PP-R热熔管1的外 周均匀布满圆通孔2。所述酸泵10的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道，所述过滤 管道状似三通管，其由与酸液流动方向平行的水平连接段5和连接于水平连接段5下方的后 倾段6组成，所述后倾段6向酸泵10的方向倾斜且末端设有封堵盖7，所述水平连接段5靠 近酸泵10侧端部内置有过滤网8。所述过滤管道前、后侧的循环管道上分别设有前、后控制 阀4、9，所述前控制阀4前侧的循环管道和后控制阀9后侧的循环管道之间连接有旁通管道 11，所述旁通管道11上设有旁通控制阀12，旁通管道的设计便于在不停止酸洗作业的情况 下清理过滤管道。