[实用新型]垂直梳齿驱动MOEMS微镜

权利要求书

1.一种垂直梳齿驱动MOEMS微镜，其特征在于：包括硅圆片（1），所述硅圆片（1）的上下 表面设有氧化层（8），位于上侧的氧化层（8）的上表面设有SOI圆片（2）的结构层（21），所述 SOI圆片的结构层内设有左右两组梳齿结构，每组梳齿结构包括位于上侧的可动梳齿结构 （4）和位于下侧的固定梳齿结构（5），固定梳齿结构（5）固定在上侧的氧化层（8）的上表面， 可动梳齿结构（4）包括若干个间隔设置的可动梳齿，固定梳齿结构（5）包括若干个间隔设置 的固定梳齿，所述固定梳齿与可动梳齿间的空隙相对，可动梳齿的下表面与固定梳齿的上 表面保持在同一平面，且可动梳齿与固定梳齿不接触；两组梳齿结构之间为微镜扭转空间， 在微镜扭转空间内设有可动微镜结构（6），所述可动微镜结构（6）的上表面设有反射镜面层 （7），所述左SOI圆片的驱动结构层与右SOI圆片的驱动结构层的上表面设有梳齿驱动电极 （3）。

2.如权利要求1所述的垂直梳齿驱动MOEMS微镜，其特征在于：所述硅圆片（1）为双面抛 光硅圆片，厚度为400±100μm，SOI圆片的结构层（21）厚度最少为100μm。

3.如权利要求1所述的垂直梳齿驱动MOEMS微镜，其特征在于：所述反射镜面层（6）和梳 齿驱动电极（3）为铬或金，铬的厚度为10nm-30nm，金的厚度不低于100nm。