[实用新型]一种靶材打磨用的平面磨床

说明书

技术领域

本实用新型属于打磨设备领域，具体涉及一种靶材打磨用的平面磨床。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当 工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板在生产完 成后、溅射镀膜前，需要进行打磨抛光处理，由于基板为脆性材质，在打 磨时散热量大，并且基板体量较小，在采用传统磨床时难以打磨，导致基 板生产成本很高。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了 一种靶材打磨用的平面磨床，能够方便基板固定，便于基板散热，保证基 板的打磨质量。

本实用新型采用的具体技术方案是：

一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作台、砂轮，工作台与床 身形成滑动配合，砂轮设置在工作台上方，砂轮轴线沿水平方向设置，所 述的工作台上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身、 盘身上套装设置有固定螺栓，盘身借助固定螺栓与工作台形成固定连接， 盘身上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘，每列橡胶吸盘借助连通管相互连 通，连通管连接有抽气机。

所述的固定螺栓下端呈圆锥形结构，固定螺栓借助于固定帽安装在盘 身上，固定帽外侧固定设置有手轮。

所述的盘身上端面设置有喷淋口，喷淋口数量与连通管数量相同。

所述的盘身呈槽体结构，所述的橡胶吸盘设置在盘身的槽体结构内。

所述的盘身槽体深度为35-50mm。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装， 并且采用橡胶吸盘的柔性连接，能够避免基板与砂轮之间的硬接触，防止 基板损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为基板安装盘的结构示意图；

附图中，1、床身，2、工作台，3、砂轮，4、盘身，5、固定螺栓，6、 橡胶吸盘，7、连通管，8、固定帽，9、手轮，10、喷淋口。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明：

具体实施例如图1所示，一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身1、工 作台2、砂轮3，工作台2与床身1形成滑动配合，砂轮3设置在工作台2 上方，砂轮3轴线沿水平方向设置，所述的工作台2上端面增设有基板安 装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身4、盘身4上套装设置有固定螺栓5， 盘身4借助固定螺栓5与工作台2形成固定连接，盘身4上端面矩阵式排 列有多个橡胶吸盘6，每列橡胶吸盘6借助连通管7相互连通，连通管7 连接有抽气机。所述的固定螺栓5下端呈圆锥形结构，固定螺栓5借助于 固定帽8安装在盘身4上，固定帽8外侧固定设置有手轮9。本实用新型的 基板安装盘，使用时将固定螺栓5的圆锥形结构的端部插入工作台2上端 面的燕尾槽，使用手轮9将固定螺栓5固定，完成安装。

所述的盘身4上端面设置有喷淋口10，喷淋口10数量与连通管7数量 相同。

所述的盘身4呈槽体结构，所述的橡胶吸盘6设置在盘身4的槽体结 构内。

所述的盘身4槽体深度为35-50mm。

本实用新型，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装， 并且采用橡胶吸盘的柔性连接，能够避免基板与砂轮之间的硬接触，防止 基板损坏，设置的槽体结构的盘身将基板容纳在槽体内，当喷淋口进行喷 淋时，槽体高于基板上端面，水面淹没基板，能够保证研磨时及时降温， 并且水面能够防止碎屑冲击基板，保护基板不被击碎。