[实用新型]一种具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器

权利要求书

1.一种具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器，其特征在于：包括激光器探头端部（1）、合束器（2）、聚焦镜片（8）、控制系统（14）、冷却装置（15），所述激光器探头端部（1）内平行设置有由第一激光探头电源（12）供电的第一激光探头（3）和由第二激光探头电源（13）供电的第二激光探头（4）、两块对称设置的45°分光镜（5）、设有光耦合器的光纤（10）、激光功率计（9）；所述合束器（2）设置在包括激光器探头端部（1）的出光端，包括两块对称设置的45°反射镜（6）和设置在两块对称设置的45°反射镜（6）之间的、由步进电机驱动的旋转镜片（7），所述第一激光探头（3）、第二激光探头（4）发出的激光分别传输至两块45°分光镜（5），一部分光透过45°分光镜（5），另一部分光由45°分光镜（5）反射至光纤耦合器后经光纤（10）传输至激光功率计（9）进行激光能量的实时监测，透过45°分光镜（5）的光经45°反射镜反射后由旋转镜片（7）反射至合束器（2）中心出口输出，经聚焦镜片（8）聚焦后与样品作用产生等离子体（11）；所述冷却装置(15)为恒温水冷系统，用于对激光探头进行恒温冷却；所述控制系统（14）与激光功率计（9）、第一激光探头电源（12）、第二激光探头电源（13）、冷却装置(15)、步进电机电路连接，用于控制冷却装置(15)的冷却水温度、步进电机的旋转角度、设定激光探头的工作模式以及根据激光功率计（9）实时监测的激光输出能量自适应调整激光输出能量使其位于设定范围值内。

2.根据权利要求1所述的具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器，其特征在于：所述的冷却装置（15）包括恒温制冷机，用于保证激光器冷却水的进出口水温恒定。

3.根据权利要求1所述的具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器，其特征在于，所述设定激光探头的工作模式具体为:设定第一激光探头（3）或者第二激光探头（4）的单独工作，或设定第一激光探头（3）和第二激光探头（4）按预定时间间隔轮换工作。

4.根据权利要求1所述的具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器，其特征在：所述45°分光镜（6）表面镀制用于实现对输出激光进行透射和反射分光的分光膜，透过光和反射光的比例为99:1。

5.根据权利要求1所述的具有功率自动稳定功能的双探头脉冲固体激光器，其特征在，所述根据激光功率计（9）实时监测的激光输出能量自适应调整激光输出能量使其位于设定范围值内具备为：控制系统（14）获取激光功率计（9）实时监测的激光输出能量，并将测量得到的激光输出能量的统计平均值与设定值进行比较，当偏差超过一定范围时，向激光器系统发出指令，调整加载在激光探头内部氙灯两端的加载电压，调整激光输出能量的统计平均值在设定范围之内。