[实用新型]基于MOCVD的有机源装置

权利要求书

1.一种基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述有机源装置包括若干MO有机源存储装置，每个MO有机源存储装置均设有进口和出口，第一个MO有机源存储装置上的进口、最后一个MO有机源存储装置上的出口、以及相邻的两个MO有机源存储装置中前一个MO有机源存储装置上的出口和后一个MO有机源存储装置上的进口之间均设有第一传输管道，载气从第一个MO有机源存储装置上的进口进入，依次经过若干MO有机源存储装置后从最后一个MO有机源存储装置上的出口携MO有机源输出至MOCVD反应室。

2.根据权利要求1所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，相邻的所述第一传输管道之间全部或部分设有第二传输管道，所述第二传输管道上设有由于开启或关闭第二传输管道的阀门。

3.根据权利要求2所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述阀门全部或部分处于关闭状态。

4.根据权利要求1所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述有机源装置包括第一MO有机源存储装置和第二MO有机源存储装置，第一MO有机源存储装置上设有第一进口和第一出口，第二MO有机源存储装置上设有第二进口和第二出口，第一进口上、第二出口上、及第一出口和第二进口之间均设有第一传输管道。

5.根据权利要求4所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述第一进口上的第一传输管道和第一出口与第二进口之间的第一传输管道之间、以及第一出口与第二进口之间的第一传输管道和第二出口上的第一传输管道之间分别设有第二传输管道，且两个第二传输管道上分别设有第一阀门和第二阀门。

6.根据权利要求5所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门至少一个处于关闭状态。

7.根据权利要求1所述的基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述载气为H₂或N₂。