[实用新型]一种用于产生角向偏振光的装置

权利要求书

1.一种用于产生角向偏振光的装置，包括激光器(1)和λ/4波片(3)，其特征在于：还包括圆形金属光栅镜(4)，所述圆形金属光栅镜(4)包括基底(9)和一组圆环栅线(8)，一组所述圆环栅线(8)同心设于基底(9)表面，所述λ/4波片(3)设置于激光器(1)出光口与圆形金属光栅镜(4)之间，所述λ/4波片(3)和圆形金属光栅镜(4)的中心位于激光器(1)的光轴线上。

2.如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的法线与光轴形成夹角，所述夹角在0°到5°之间。

3.如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：还包括扩束镜(2)，所述扩束镜(2)设置于激光器(1)和λ/4波片(3)之间。

4.如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：还包括镜夹(5)和压环(6)，所述圆形金属光栅镜(4)通过压环(6)固定在镜夹(5)内。

5.如权利要求4所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述镜夹(5)内设有冷却通道(7)，所述冷却通道(7)内循环流动有冷却剂。

6.如权利要求4所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)最中心的圆环栅线(8)的内径小于十倍激光波长。

7.如权利要求4所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的光栅周期小于激光波长。

8.如权利要求1-7任意一条所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的光栅占空比为40％～60％。