[实用新型]一种离子源磁场分布结构有效
| 申请号： | 201521073448.2 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205590789U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘野;刘晓华;马槽伟 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 磁场 分布 结构 | ||
【权利要求书】：
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