[实用新型]一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片加工工装领域，特别是涉及一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装。

背景技术

硅片酸腐蚀是半导体硅片生产中的一个重要过程，在这个过程中要求去除磨片后硅片表面的损伤层，且要求表面色泽一致，达到一定的光泽度，粗糙度，以及厚度和TTV(硅片厚度变化量)的几何参数要求。它对硅片后道加工质量有极大的影响。

现有的酸腐蚀机是大多是比较早的一代设备，机械结构的设计本身是为6寸以下硅片设计的，硅片在加工过程中的旋转速度不能控制调节，从而产生硅片边缘产生有夹具痕迹存在，影响了色差，及影响边缘TTV(硅片厚度变化量)，导致产品报废。如果采购适用于8寸硅片的新设备则价格比较高，而且不能保证TTV参数一定满足指标。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，结构合理巧妙，操作简单，能够使原来只能加工6寸硅片的设备可以加工8寸的硅片，消除了使用原夹具产生的硅片边缘色差，并且现在8寸硅片的表面色泽比较均匀，有效改善硅片边缘TTV的值。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板、连接柱和转轴，所述的端面圆板呈两块并排同轴布置，两块端面圆板之间通过靠近边缘处的若干根连接柱相连，所述的连接柱上连接有靠近两块端面圆板布置的支撑圆板，所述的支撑圆板之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴，所述的夹持转轴的两端穿过支撑圆板且均安装小齿轮，所述的端面圆板的中间穿有转轴，该转轴的一端穿过端面圆板与主动齿轮相连，另一端穿过端面圆板和支撑圆板之间的大齿轮与支撑圆板相连，所述的主动齿轮与周围的小齿轮均相啮合；

所述的大齿轮与支撑圆板之间布置有一端与转轴相连的活动块，两块活动块之间穿有一根夹持转轴，该夹持转轴的两端均安装有与大齿轮相啮合的小齿轮，所述的夹持转轴的中部均套接有外表均布有环形槽的硅片定位夹套。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，两根活动块之间还连接有两根连接杆，该连接杆相对于夹持转轴对称布置。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的支撑圆板上没有安装夹持转轴和连接柱的部分边缘处开有弧形缺口，所述的活动块之间的夹持转轴和连接杆随着活动块的转动在弧形缺口中移动。

进一步的，所述的活动块包括扇形转动块和勾板，所述的勾板通过向外伸出的V形连接板与扇形转动块的外边缘一侧相连，所述的勾板与支撑圆板上突出的定位柱相连。

进一步的，所述的支撑圆板之间的夹持转轴的数量至少为4根。

有益效果

本实用新型涉及一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，结构合理巧妙，操作简单，能够使原来只能加工6寸硅片的设备可以加工8寸的规定，消灭了原夹具使用产生的硅片边缘色差，并且现在8寸硅片的表面色泽比较均匀，改善了硅片边缘TTV的值。

附图说明

图1是本实用新型的外形立体图；

图2是本实用新型的外形立体图；

图3是本实用新型的局部俯视结构图；

图4是本实用新型的局部俯视结构图。

图示：1、端面圆板；2、转轴；3、主动齿轮；4、活动块；5、支撑圆板；6、连接柱；7、硅片定位夹套；8、连接杆；9、夹持转轴；10、小齿轮；11、大齿轮；12、扇形转动块；13、V形连接板；14、勾板；15、弧形缺口；16、定位柱。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

如图1-4所示，本实用新型的实施方式涉及一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板1、连接柱6和转轴2，所述的端面圆板1呈两块并排同轴布置，两块端面圆板1之间通过靠近边缘处的若干根连接柱6相连，所述的连接柱6上连接有靠近两块端面圆板1布置的支撑圆板5，所述的支撑圆板5之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴9，所述的夹持转轴9的两端穿过支撑圆板5并均安装有小齿轮10，所述的端面圆板1的中间穿有转轴2，该转轴2的一端穿过端面圆板1后与主动齿轮3相连，另一端穿过端面圆板1和支撑圆板5之间的大齿轮11与支撑圆板5相连，所述的主动齿轮3与周围的小齿轮10均相啮合；