[实用新型]一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置有效
| 申请号： | 201521075029.2 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205329157U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈一民;章曙东;樊子铭 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mocvd 技术 制备 rebco 超导 材料 装置 | ||
1.一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于：包括真空室、金属有 机源输送管路、喷淋器、冷却器、衬底、加热器及氧气引入机构，所述金属有机源输送管路 位于真空室顶部，所述喷淋器位于真空室内部并与金属有机源输送管路相连，所述冷却器位 于喷淋器下方，所述氧气引入机构位于冷却器下方，所述衬底通过弧形板安装在真空室下部， 所述加热器位于衬底及弧形板下方，在衬底与氧气引入机构之间留有反应气体输送空间。
2.根据权利要求1所述的一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于： 所述氧气引入机构与衬底之间的距离采用可调方式。
3.根据权利要求1所述的一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于： 所述氧气引入机构包括氧气入口和进气通道，所述氧气入口与进气通道相连通，在所述进气 通道上密布有若干喷淋孔。
4.根据权利要求3所述的一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于： 所述进气通道采用环状结构。
5.根据权利要求3所述的一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于： 所述喷淋孔的氧气喷射方向与喷淋器的金属有机源喷射方向平行且相反。
6.根据权利要求1所述的一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于： 在靠近所述喷淋器一侧的氧气引入机构上设置有隔热机构。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
