[实用新型]半导体芯片生产用化学品在线加热器有效
| 申请号： | 201521076783.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205430635U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈景韶 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/10 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201713 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 芯片 生产 化学品 在线 加热器 | ||
【说明书】：
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