[实用新型]一种蓝宝石晶体生长炉

权利要求书

1.一种蓝宝石晶体生长炉，包括炉体（2）、真空机组（4）及发热体（8），真空机组（4）与炉体（2）内部连通，发热体（8）设置在炉体（2）内，其特征在于：炉体（2）内还设有隔热屏（7）、温区分隔板（9）、温度传感器（10）、料盘（12）及传动机构（14），所述隔热屏（7）围成内部可设置坩埚（11）的空间，料盘（12）设置在坩埚（11）的底部，隔热屏（7）的一端设有可供坩埚（11）穿过的通孔，与隔热屏（7）开孔端对应一侧的炉体（2）上开设有炉门（1），所述发热体（8）有多根且呈长条状，其端部均固定设置在隔热屏（7）上，且平行、均匀分布在坩埚（11）的两侧，所述温区分隔板（9）有多个且分隔设置在发热体（8）之间，将隔热屏（7）围成的空间沿竖直或水平方向分割成多个独立的温区，每个温区均设有温度传感器（10），所述温度传感器（10）穿过隔热屏（7）设置在两层发热体（8）之间，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度控制实现在竖直或水平方向上呈现温度梯度变化，所述传动机构（14）穿过炉体（2）与料盘（12）的一端连接。

2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述坩埚（11）水平设置在隔热屏（7）围成的空间内，料盘（12）设置在滑动轨道（13）上。

3.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述坩埚（11）竖直设置在隔热屏（7）围成的空间内，传动机构（14）与料盘（12）的底部固定连接。

4.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述温区分隔板（9）呈环形，且其环形外壁设置在隔热屏（7）上，环形内壁与坩埚（11）间隙配合。

5.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述炉体（2）为双层循环水冷炉体。

6.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述传动机构（14）为手动推杆，手动推杆与料盘（12）的一端固定连接。

7.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述传动机构（14）为电动输送机构。

8.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述炉体（2）上设有进气孔（5）和出气孔（6）。

9.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述炉体（2）底部设有炉体支撑机构（3）。