[实用新型]一种硅片研磨砂浆搅拌装置有效

专利信息
申请号: 201521090242.0 申请日: 2015-12-24
公开(公告)号: CN205235841U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 裴保齐;周涛;蒋建国 申请(专利权)人: 洛阳鸿泰半导体有限公司
主分类号: B01F7/18 分类号: B01F7/18;B01F7/00;B01F15/00
代理公司: 洛阳明律专利代理事务所 41118 代理人: 杨淑敏
地址: 471023 河南省洛阳市高*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 研磨 砂浆 搅拌 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片研磨砂浆搅拌装置,包括搅拌桶、电机、上盖、固定板、旋转轴和搅拌板,其特征是:在搅拌桶上设有上盖,上盖上设有固定板,固定板上设有电机,搅拌桶内设有旋转轴,旋转轴一端与电机相连接,在旋转轴上设有搅拌板,搅拌板由上搅拌板和下搅拌板构成,上搅拌板和下搅拌板分别设置在旋转轴的上部和下部。

2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,其特征是:所述上盖上设有观察窗,观察窗由透明材质制作而成。

3.根据权利要求1所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,其特征是:所述上搅拌板和下搅拌板均为弧形结构,上搅拌板和下搅拌板垂直于旋转轴设置在旋转轴上,下搅拌板设置在旋转轴的底端,下搅拌板与桶底相互平行,在下搅拌板底部边缘设有铲板,上搅拌板设置在旋转轴的上部,上搅拌板的弧形与下搅拌板的弧形相对。

4.根据权利要求3所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,其特征是:所述铲板为长方型结构,铲板一端与下搅拌板相连接,铲板另一端与桶底相接触。

5.根据权利要求1所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,其特征是:所述上搅拌板至少为一个,上搅拌板平均分布在下搅拌板上方的旋转轴上。

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