[实用新型]四梁结构石英谐振传感器

权利要求书

1.四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，包括玻璃衬底（7）、位于玻璃衬底上表面的硅基支撑（5），硅基支撑开有一个矩形孔洞，在该矩形孔洞中央设置有压块（6），压块（6）通过四个悬臂梁（3）分别与矩形孔洞的四个面连接使得压块悬空设置，压块下方设置有金属电极（8），压块的上端面的面积小于下端面面积，压块的下端面面向金属电极，压块的上端面设置有第二硅凸台（4），压块的上端面平行于硅基支撑的上端面，硅基支撑的上端面设置有第一硅凸台（2），第一硅凸台（2）和第二硅凸台（4）上均设置有石英块（1），两个石英块（1）之间设置有2根平行的谐振梁（9）。

2.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，所述金属电极（8）与压块下端面之间有3微米的运动间隙。

3.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，两根谐振梁（9）之间有10微米的运动间隙。

4.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，第一硅凸台（2）和第二硅凸台（4）的上端面高出硅基支撑的上端面40至50微米。

5.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，压块的横切面的形状呈等腰梯形，该等腰梯形的下底边长于上底边，下底边面向金属电极。

6.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，所述谐振梁表面四周设置有电极。

7.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，所述悬臂梁（3）和压块（6）的中轴线重合。

8.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，所述金属电极的厚度为100微米。

9.根据权利要求1所述的四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，所述悬臂梁采用厚度1mm至5mm的长条型件。