[实用新型]多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置有效
| 申请号： | 201521101626.8 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN205449915U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 贺珍俊;李辉;宗凤云;曹忠;高云龙;刘淑萍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N30/08 | 分类号： | G01N30/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 循环 氢气 杂质 气体 富集 辅助 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
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