[实用新型]一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种快速冷却的太阳 能电池PECVD石墨舟冷却房。

背景技术

随着石油、天然气等不可再生能源的日益短缺，太阳能、风能、潮汐能等可再生能源的 开发、利用越来越受到国内外研究者的关注。其中，太阳能光伏发电以其无枯竭危险、无污 染、不受资源分布地域的限制、可在用电处就近发电、能源质量高、使用者从感情上容易接 受、获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景，我国太阳能 光伏电池生产也进入了高速发展的时代。

在光伏电池硅片生产过程中通常需要采用等离子体增强型化学气相沉积工艺(PECVD) 对经过制绒及扩散等工艺处理后的太阳能电池表面进行氮化硅减反膜沉积处理，从而减少光 的反射，增加电池对光线的吸收。目前，现有技术中对太阳能电池进行氮化硅减反膜沉积处 理时通常是使用石墨舟作为电池片的承载工具，但由于经减反射膜沉积完成之后石墨舟的温 度过高，需要将其快速冷却至35-50℃。现有技术中通常是通过石墨舟载车将石墨舟推至石 墨舟冷却房，通过冷却风机进行冷却。但由于现有技术中石墨舟冷却房的设计不合理，造成 冷却房内冷却风循环不畅，冷却较慢，且只能对石墨舟的局部进行冷却，从而导致冷却工序 时间较长，达不到快速冷却石墨舟的效果，严重影响PECVD的产能。

如，中国专利申请号：201320196077.1，申请日：2013年04月17日，发明创造名称为： 一种石墨舟冷却装置，该申请案中的石墨舟冷却装置包括框架和设置在框架底部四角的固定 底座；所述框架内设有石墨舟冷却台，所述冷却台面上设有出风口，所述出风口与轴流风机 连接，所述轴流风机与延时继电器连接。该申请案通过在石墨舟冷却装置中安装延时继电器 在一定程度上可以控制石墨舟的冷却时间，降低损耗，提高设备的使用效率。但是该申请案 中的出风口即只能对石墨舟的底部进行吹风冷却，空气循环不畅，从而导致冷却时间较长。

实用新型内容

1.实用新型要解决的技术问题

本实用新型的目的在于克服由于现有石墨舟冷却房设计不合理，冷却房内冷却风循环不 畅，冷却较慢，且只能对石墨舟的局部进行冷却，从而导致冷却工序时间较长的不足，提供 了一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房。通过使用本实用新型的石墨舟冷却房， 可以改善冷却房内的空气流通情况，提高了对石墨舟的冷却效果，从而使冷却时间明显缩短。

2.技术方案

为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：

本实用新型的一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房房体和冷 却平台，所述的冷却平台设置于冷却房房体内且位于待冷却石墨舟的下方，在上述冷却平台 上设有排风口，该排风口与冷却风机相连，在所述的冷却房房体的顶部中间及两侧各设有一 个热排口，这三个热排口分别与热排管相连。

更进一步地，在所述的冷却房房体顶部的三个热排口均设有抽风机。

更进一步地，所述的冷却平台上的排风口有两个，分别对称设置于冷却平台的中部两侧。

更进一步地，在所述的冷却房房体的两侧壁对称设有一组排风扇，这组排风扇的排风口 对着石墨舟的两侧进行排风。

更进一步地，所述排风扇的排风方向与石墨舟侧壁的夹角为30-60°。

3.有益效果

采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

(1)本实用新型的一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房，在冷却房房体内 设有冷却平台，该冷却平台位于待冷却石墨舟的下方，且在冷却平台上设有排风口，排风口 与冷却风机相连，从而可以对石墨舟进行排风冷却。本实用新型中在冷却房房体的顶部中间 及两侧各设有一个热排口，这三个热排口分别与热排管相连，通过上述三个热排口的设置可 以使冷却房内产生的热气容易被排出冷却房，改善了冷却房内的空气流通情况，从而有利于 石墨舟的快速冷却。

(2)本实用新型的一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房，在冷却房房体顶 部的三个热排口均设有抽风机，从而可以使冷却房内的热流更易被抽出，加速了空气的流通 和石墨舟的冷却，进一步减少了冷却时间。