[实用新型]真空镀膜机有效
| 申请号： | 201521109097.6 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205258592U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 段元成;毛祖献;容春华 | 申请（专利权）人： | 苏州金研光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215215 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机，其包括一真空室，所述真空室内设置一用于承载产品的承载支架以及一镀膜用的电子枪，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，其特征在于：包括一中空的防污罩，所述镀膜材料设置在所述防污罩中。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述防污罩中开设有贯穿的通孔，所述通孔一端朝向所述电子枪，所述通孔的另一端朝向所述承载支架，朝向所述承载支架的所述通孔一端的直径大于所述通孔另一端的直径。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于：所述防污罩为两端开口的喇叭形结构。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于：所述通孔为锥形圆台形。
5.根据权利要求3或4其中之一所述的真空镀膜机，其特征在于：所述防污罩的高度为100～300毫米。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述承载支架为伞形结构，所述承载支架的伞面上设置多个贯穿的圆孔，产品设置在所述圆孔中。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜机，其特征在于：所述承载支架的伞形内侧朝向所述电子枪。
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