[实用新型]一种硅片切割机的冷却水系统

权利要求书

1.一种硅片切割机的冷却水系统，其特征在于：包括缓冲槽、 回收槽和冷却水处理装置，所述的缓冲槽横截面呈倒梯形，且其 顶端开口，在缓冲槽内设有沥水面板，在缓冲槽的底壁上设有出 液孔，在缓冲槽下端设有回收槽，所述的回收槽一侧设有通孔， 该通孔通过回收管道与循环换热机构的进水口相连，所述的循环 换热装置包括容纳箱，螺旋换热管的进水口、出水口均设于所述 的容纳箱内，且螺旋换热管的进水口与回收管道相连，所述的螺 旋换热管盘绕在砂浆槽外，进入到容纳箱内的螺旋换热管的出水 口与连接管道一端相连，所述的连接管道另一端与弯管相连，弯 管与喷嘴相连，所述的喷嘴设于切割机的导线轮的正上方，在回 收管道上设有循环泵，在回收槽内设有冷却水处理装置，所述的 冷却水处理装置包括筒体、进料圆筒，所述的筒体底端设有废料 排口，在筒体上端设有顶盖，在顶盖上设有多个溢出孔，所述的 顶盖的中间部分设有圆孔，该圆孔通过连接管与缓冲槽的出液孔 相连通，在顶盖的圆孔处的下边缘设有进料圆筒，在回收槽底壁 上设有与废料排口相连通的出渣口。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机的冷却水系统，其 特征在于：所述的回收槽上边缘固定在缓冲槽底壁外侧。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机的冷却水系统，其 特征在于：所述的回收槽一侧下端设有通孔。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机的冷却水系统，其 特征在于：所述的出渣口处设有堵头。