[实用新型]一种超细粉体磁控溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，包括投料口(1)、储料仓(2)、转动下粉装置(3)、振动盘(4)、超声波换能振动装置(5)、振动系统壳体(6)、镀膜机壳体(7)、出料仓(9)、屏蔽保护装置(11)、出料口(12)、振动系统顶部防尘盖(14)、视窗口(15)和靶材支撑管(16)，其特征在于：还包括旋振装置(8)、粉体传送管路(10)和旋转圆柱靶(13)，所述粉体传输管路(10)上端与出料口(12)相连，中段穿过振动系统壳体(6)，下端开口在振动盘(4)内侧靠近裙边处或中部，所述旋转圆柱靶(13)的动密封端连接在镀膜机壳体(7)上，穿过振动系统壳体(6)，另一端连接在靶材支撑管(16)上。

2.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述储料仓(2)和出料仓(9)内设监控粉体原料高度的感应设备，储料仓(2)内还设有烘干粉体的加热设备。

3.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述振动盘(4)边缘固定在振动系统壳体(6)上，中部预留一圈裙边。

4.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述超声波换能振动装置(5)与振动盘(4)相连。

5.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述镀膜机壳体(7)上预留抽真空系统连接口、电引入借口、转动下粉装置动密封、旋转圆柱靶动密封、腔体加热装置连接口、气路及混气装置连接口、维修通道。

6.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述旋振装置(8)上下两端安有偏心重锤。

7.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述屏蔽保护装置(11)为焊接在振动系统壳体(6)上的不锈钢圆盘。

8.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述出料口(12)的开口在振动盘(4)的侧面。

9.根据权利要求1所述的一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述靶材支撑管(16)的上端固定于镀膜机壳体(7)的上部，穿过振动盘(4)、振动系统壳体(6)和屏蔽保护装置(11)。