[实用新型]反射双波长合成孔径全息术的光学元件表面疵病检测装置有效
| 申请号： | 201521129979.9 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205643181U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 姜宏振;郑芳兰;刘勇;刘旭;李东;杨一;陈竹;任寰;张霖;周信达;郑垠波;原泉;石振东;巴荣声;李文洪;于德强;袁静;丁磊;马可;马玉荣;冯晓璇;陈波;杨晓瑜 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 赵宇 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 波长 合成 孔径 全息 光学 元件 表面 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
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