[实用新型]一种掩模版存储定位装置有效
| 申请号： | 201521134418.8 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205450558U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;胡松立;姜杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模版 存储 定位 装置 | ||
【说明书】：
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