[实用新型]一种锁模紫外激光器的产生装置

权利要求书

1.一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，包括泵浦光源、谐振腔单元、倍频单元和输出单元，其中：

所述谐振腔单元用于产生1064nm锁模激光，其包括第一耦合透镜、第二耦合透镜、平凹镜、平面镜、正钒酸钇晶体、半导体可饱和吸收镜和第一反射镜；

所述倍频单元用于产生355nm激光，其包括第二反射镜、二倍频模块、三倍频模块、第三反射镜和吸收板；

所述输出单元用于调整光束质量，其包括第四反射镜、柱面镜、球面镜和窗口片；

所述泵浦光源产生激光脉冲并输入至谐振腔单元，并依次第一耦合透镜、第二耦合透镜、平凹镜、正钒酸钇晶体、平面镜、半导体可饱和吸收镜和第一反射镜后产生锁模激光再输入到所述倍频单元；

所述锁模激光进入到倍频单元后，依次经过第二反射镜、二倍频模块、三倍频模块、第三反射镜和吸收板后进倍频后得到的355nm激光进入到输出单元，在输出单元中依次经过所述第四反射镜、柱面镜和球面镜，最后从所述窗口片输出紫外锁模激光。

2.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述泵浦光源为激光二极管，其在室温下中心波长为808nm。

3.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述第一反射镜为1064nm反射镜。

4.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述平凹镜为内侧凹面镀808nm高反膜的反射镜，可透射1064nm。

5.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述半导体可饱和吸收镜以非线性效应作为锁模机制。

6.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述二倍频模块和三倍频模块均包括凸透镜和三硼酸锂晶体。

7.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜均为355nm反射镜，用于改变光路方向。

8.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述柱面镜采用非球面透镜。

9.如权利要求1所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述球面镜包括第一透镜和第二透镜，且所述第一透镜和第二透镜均采用光学镀膜玻璃透镜。

10.如权利要求9所述的一种锁模紫外激光器的产生装置，其特征在于，所述第二透镜采用双胶合消像差透镜。